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隋兆文

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇红外
  • 2篇硅
  • 1篇地平仪
  • 1篇电路
  • 1篇电偶
  • 1篇生产工艺
  • 1篇双列
  • 1篇探测器
  • 1篇热电偶
  • 1篇热堆
  • 1篇集成电路
  • 1篇红外地平仪
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇感器
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体集成
  • 1篇半导体集成电...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中国科学院上...
  • 1篇北京控制工程...

作者

  • 2篇熊斌
  • 2篇卢建国
  • 2篇隋兆文
  • 1篇黄玢
  • 1篇王渭源
  • 1篇王素英

传媒

  • 1篇红外技术
  • 1篇1986年中...

年份

  • 1篇1993
  • 1篇1986
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器
1993年
本文报道了试用于红外地平仪的新型热堆传感器。由于尺寸小、集成热偶对数高,故设计成双列硅集成结构,集成B-Sb热偶对为112对。采用集成电路工艺和微细加工技术研制,使器件获得较好的稳定性和可靠性。测得器件性能为:电阻10±1kΩ,响应率0.9～1.2V/W,时间常数<100ms.探测率D~*≈1×10~8cmHz^(1/2)/W。
卢建国隋兆文熊斌王渭源黄玢王素英
关键词：热堆传感器
硅集成热堆红外探测器研究
卢建国隋兆文熊斌
关键词：热电偶红外探测器半导体集成电路硅生产工艺
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