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鄢和明

作品数：4 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 4篇原子
  • 3篇原子光刻
  • 3篇光刻
  • 2篇亚稳态
  • 2篇气体
  • 2篇微结构
  • 2篇氖原子
  • 2篇惰性气体
  • 1篇原子束
  • 1篇束流
  • 1篇束流强度
  • 1篇偏振
  • 1篇偏振光
  • 1篇偏振光谱
  • 1篇谱线
  • 1篇钛宝石
  • 1篇钛宝石激光
  • 1篇钛宝石激光器
  • 1篇稳频
  • 1篇激光

机构

  • 4篇中国科学院上...

作者

  • 4篇鄢和明
  • 4篇王育竹
  • 3篇蔡惟泉
  • 3篇霍芸生
  • 3篇曾庆林
  • 1篇何慧娟
  • 1篇赵隆兴
  • 1篇卢洪斌
  • 1篇王向朝
  • 1篇李传文
  • 1篇钱林兴
  • 1篇王长生

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 2篇2000
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
亚稳态氖原子光刻的实验研究被引量：1
2003年
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
关键词：原子光刻惰性气体微结构
原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究被引量：2
2002年
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。
霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
关键词：原子光刻惰性气体亚稳态原子束束流强度氖原子
微结构光学先进技术研究-原子光刻研究
王育竹蔡惟泉霍芸生李传文曾庆林鄢和明王长生何慧娟钱林兴赵隆兴
该课题经三年的工作，建立了原子光刻实验装置，包括高真空系统，Cr原子束源，特定频率的单频稳频激光光源等，对上述基本单元进行了实验，获得较好的实验结果。在高温Cr原子源的设计和制造上采用了创新技术，使该器件体积小，造价低，...
关键词：
关键词：原子光刻微结构
^(85)Rb原子偏振光谱线稳频钛宝石激光器被引量：2
2000年
本文采用铷原子偏振光谱线作为鉴频线 ,使钛宝石激光器输出频率稳定在其上 ,有效地抑制了温漂造成的频率漂移。同饱和吸收谱的方法比较 ,具有灵敏度高、响应速度快 。
卢洪斌王向朝鄢和明王育竹
关键词：偏振光谱稳频
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共1页<1>
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