邓俊泳
- 作品数：6 被引量：64H指数：4
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程一般工业技术更多>>
- TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：16
- 2003年
- TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特性、工艺条件及应用。
- 邓俊泳冯勇建
- 关键词：TMAH单晶硅各向异性腐蚀微机电系统
- 油田水硬度测试方法及自动化测试仪器
- 2004年
- 油田水中含有大量的钠离子,离子选择电极法测油田水硬度必需克服钠离子的干扰,该文采用含有与水样同量Na^+的标准溶液校准电极来解决。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大。系统具有性能可靠、测量速度快、测量范围宽、可长时间连续使用和在线测试的特点。
- 郑志霞邓俊泳冯勇建郑剑翔
- 关键词：离子选择电极法油田水单片机
- 聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用被引量：28
- 2003年
- 聚酰亚胺具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好、化学性质稳定等特点,在MEMS工艺中有很广泛的应用前景,适于做牺牲层、绝缘层和平坦层等。在简要介绍聚酰亚胺的基础上,着重介绍聚酰亚胺在MEMS工艺中的特性、工艺流程及应用。
- 邓俊泳冯勇建
- 关键词：聚酰亚胺MEMS牺牲层绝缘层高分子材料微机电系统
- 微气体传感器阵列及神经网络的应用被引量：13
- 2002年
- 简要分析由MEMS工艺制成的新型微气体传感器阵列的原理及其优点 ,在此基础上 ,应用人工神经网络对气体传感器阵列的输出进行模式分类、识别 ,实现对单一或混合气体的有选择性探测 ,识别率可高达 95 %。
- 邓俊泳冯勇建吴青海
- 关键词：MEMS工艺人工神经网络气体探测
- 电容式测压微传感器及其测量电路
- 本文主要探讨了接触式电容压力微传感器的结构原理及其测量电路.文中在对该传感器模型进行仿真时利用大挠度理论和当量半径作近似处理,利用MATLAB语言进行仿真的结果表明该传感器的测量电容与压力之间具有较宽的线性范围.由CMO...
- 许金海邓俊泳
- 关键词：微传感器测量电路
- 文献传递
- 电容式测压微传感器的特性分析被引量：7
- 2001年
- 本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析 ,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明
- 许金海冯勇建邓俊泳
- 关键词：微传感器电容式特性分析测量电路
