王海珊 作品数:10 被引量:24 H指数:3 供职机构: 上海海事大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 教育部“新世纪优秀人才支持计划” 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 理学 更多>>
一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置 本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置,在调整平台上设置有环境加载装置,其结构为:压电陶瓷可调节式安装于支架内,支承板固定在支架上;加热板固定在支承板上,支架固定在真空腔体上,真空腔体上设置有透光片... 史铁林 白金鹏 谢勇君 刘世元 王海珊文献传递 基于强度分析的大吨位吊钩体制造技术 被引量:3 2010年 针对大吨位吊钩体整体锻造中的困难,在分析吊钩体焊缝在极限工况下强度的基础上,提出了大吨位吊钩体的分段制造技术。分段制造技术通过分别锻造钩身和钩体两段,然后将钩身和钩尖通过焊接技术连接为一体,实现大吨位吊钩体的制造。 王海珊 董达善 滕媛媛 乔榛关键词:强度分析 微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究 干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法,具有测量速度快、精度高、非接触的优点,主要用于MEMS等基于IC平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通过深入研究干涉显微法原理,对相移干涉法/(PSI/)... 王海珊文献传递 一种全自动下肢康复训练座椅 本发明公开了一种全自动下肢康复训练座椅,包含,底座,安装在底座上方中间位置的箱体,安装在底座一侧的电机,安装在箱体内部的传动机构,安装在箱体一侧的连杆机构,安装在箱体上端的座椅,还包含一端与电机连接的遥控装置,电机一端与... 唐刚 焦杰 吴钢 王伟伟 王章坤 黄嘉慧 王海珊文献传递 林尼克结构干涉测量系统误差分析 被引量:1 2008年 在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。 王海珊 史铁林 刘世元 冯奎景 廖广兰基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量:15 2008年 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 王海珊 史铁林 廖广兰 刘世元 张文栋一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置 本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置,在调整平台上设置有环境加载装置,其结构为:压电陶瓷可调节式安装于支架内,支承板固定在支架上;加热板固定在支承板上,支架固定在真空腔体上,真空腔体上设置有透光片... 史铁林 白金鹏 谢勇君 刘世元 王海珊文献传递 基于采样定理的白光干涉SEST算法研究 被引量:1 2008年 研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区间,减少了存储的采样值及计算量,提高了数据处理速度。仿真结果表明,该算法是快速、有效的。 冯奎景 廖广兰 史铁林 王海珊关键词:光学测量 白光干涉 表面形貌 一种大吨位组合型吊钩 一种大吨位组合型吊钩。一般起重量大于500吨的大吨位非标准吊钩,吊钩体上有两个及以上的钩尖。本实用新型吊钩的吊钩体(3)、吊杆(1)分开制造,吊钩体(3)的钩身和钩尖分别锻造;吊钩体由钩身(302)、钩尖(301)焊接而... 王海珊 董达善 严兵 李成 李铭 梅潇 刘海洋文献传递 紫外光辐射在硅片表面活化键合中的应用 被引量:1 2008年 在硅圆片表面亲水活化键合工艺中引入了紫外光照射并对其工艺参数和效果进行了评估。基于基本键合流程,通过对比实验,研究紫外光照与否,以及照射时间长短对硅片键合质量的影响。同时利用红外检测仪,拉伸强度测试仪以及原子力显微镜分别对键合面积,键合强度和表面粗糙度等因素进行了测定。此外,利用了承载率这一指标,对比了达到相同承载率时所需要克服的形变,以此对硅片的键合能力进行了评估。各项结果表明,硅片经过C波段和V波段的混合紫外光照射5m in,相比于不经过紫外辐射的硅片,表面粗糙度得到了明显的改善,并获得最高的键合能力和拉伸强度。长时间的紫外辐射会破坏表面,进而影响其键合能力,使得拉伸强度降低。 林晓辉 史铁林 廖广兰 汤自荣 彭平 王海珊关键词:表面活化 紫外辐射 表面粗糙度