王旭
- 作品数：7 被引量：7H指数：1
- 供职机构：陕西师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程政治法律自动化与计算机技术更多>>
- 超级化学镀铜填充微道沟的研究被引量：7
- 2009年
- 超级化学铜填充技术不仅可以应用于半导体超大集成电路铜互连线,而且可以应用于三维封装.研究了不同浓度、不同分子量的PEG对以甲醛为还原剂的化学镀铜溶液中铜的沉积速率的影响.随着添加剂PEG浓度和分子量的增大,化学铜的沉积速率明显降低.电化学研究结果表明PEG通过抑制甲醛的氧化反应降低化学铜的沉积速率,PEG分子量越大,对化学铜的抑制作用越强.利用PEG-6000对化学铜的抑制作用和在溶液中低的扩散系数,采用添加PEG-6000的化学镀铜溶液,成功地实现了宽度在0.2μm以下微道沟的超级化学填充.就PEG的分子量、微道沟的深径比等因素对超级化学铜填充的影响也做了研究.
- 杨志锋高彦磊李娜王旭殷列王增林
- 关键词：线性扫描伏安法
- 铝及其氮化物表面干法氧化的研究进展
- 2009年
- 介绍了铝及其氮化物表面干法氧化的研究现状及发展前景。总结了不同氧化方法对铝氧化膜性质的影响,并对采用干法制备铝氧化膜及氮氧化膜技术的发展前景进行了展望,指出采用铝表面的热氧化、多组分等离子氧化制备铝氧化膜或氮氧化膜将成为铝氧化技术新的发展方向。
- 李娜杨志锋王旭殷列王增林
- 关键词：化学氧化热氧化
- 超级化学镀铜方法填充微道沟的基础研究
- 金属铜由于其具有较低的电阻率和较高的抗电迁移能力,已被广泛地应用于超大规模集成电路的大马士革铜互联线工艺中。其铜互联线工艺的微孔和道沟的完全填充是通过超级电镀技术来实现的。随着集成电路芯片中铜互联线宽度迅速减小,均匀铜种...
- 王旭
- 关键词：抑制剂化学镀铜加速剂
- 文献传递
- 基于信道状态信息的人体行为识别方法及系统
- 本发明公开了一种基于信道状态信息的人体行为识别方法及系统，该方法首先构建相同环境下多个场景的相同动作的对应样本数据集；然后基于CNN模型和GRU模型建立混合识别模型，并采用反向传播算法对混合识别模型进行迭代优化，得到训练...
- 何聚厚牛娟房蓓韩广欣王旭
- 山东省A监狱突发事件应急管理存在的问题及对策研究
- 随着国内改革的进程加快和整个环境的发展,极端不稳定事件也容易随着社会问题的爆发而不时出现。监狱作为国家的刑罚执行机关,其稳定性已经成为国家安全的关键基础。如何精确实现质量提高,提升应急管理的水平已成为当前研究的迫切需求。...
- 王旭
- 关键词：突发事件应急管理监狱
- 核壳型聚合物刷的制备及性能研究
- 近些年来,由聚合物和纳米粒子组成的有机-无机纳米复合材料提供了巨大的潜在材料性能设计空间,这种纳米复合材料取决于这两种成分的性能及其空间排列。本论文采用表面原子转移自由基（ATRP）合成方法,将具有响应性功能的单体聚合接...
- 王旭
- 关键词：纳米二氧化硅PH响应
- 文献传递
- 次磷酸钠混合还原体系化学镀铜溶液的研究
- 传统的化学镀铜溶液多采用甲醛作为还原剂,但甲醛蒸汽具有较大的毒性,不利于环保生产。用次磷酸钠代替甲醛的化学镀铜溶液以其pH低、稳定性好、无毒性等优点而受到人们的广泛关注。但是该体系下沉积的铜层对反应不起催化作用,需要加入...
- 李娜王旭杨志锋王增林
- 文献传递
