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李玉敏

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇掩模
  • 1篇掩模版
  • 1篇制版
  • 1篇曝光机
  • 1篇物镜
  • 1篇物镜设计
  • 1篇高斯

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇李玉敏
  • 1篇刘金荣

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种掩模版制版用夹具装置的研制
2010年
介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点。
李玉敏
关键词：制版
双高斯复杂化结构显微物镜设计被引量：2
2011年
介绍了一种用于曝光机的对准显微物镜设计及结果分析,物镜采用共轭距无限远类型,针对传统的用于照相的双高斯结构进行了复杂化设计,并对光学系统进行了优化,实现了长工作距离、平场和长景深。
刘金荣李玉敏
关键词：曝光机
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共1页<1>
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