李燃灯
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：华东理工大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺化学工程更多>>
- 基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺被引量：2
- 2012年
- 以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光。再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝光,显影得到双层微齿轮的胶模。最后,进行微电铸得到双层微齿轮型腔镶块。通过实验验证了双层微齿轮模具镶块制作的工艺流程,优化了其工艺参数,克服了底部曝光不足引起的问题,并对制作工艺过程中产生的涂胶不平整、前烘时胶层不稳定、热板加热不均以及接触式曝光破坏胶层表面等问题进行了研究。所制得的双层微齿轮胶模垂直度高,表面质量好,且套刻精度高。
- 李燃灯秦宗慧周嘉
- 关键词：UV-LIGA
- 基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块的工艺研究
- 随着MEMS技术的发展，人们对微型制件的需求越来越高。采用微注射成型技术获得的微型塑件，成型精度高，稳定性好，成本低，易成型，以及其材料本身良好的物理力学特性等诸多优点，决定了其在MEMS领域中的重要地位。微小型腔的加工...
- 李燃灯
- 关键词：UV-LIGA技术氧化铟锡型腔模具
