曹猛
- 作品数：24 被引量：26H指数：3
- 供职机构：天津师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划天津市科技计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 调制周期对ZrB2/BN纳米多层膜结构和性能的影响
- 利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB、BN和一系列ZrB/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明:多层膜具有周期...
- 金上校曹猛邓湘云李德军
- 关键词：离子束溅射纳米多层膜
- 文献传递
- 工作气压对TaN/VN纳米多层膜结构与机械性能的影响被引量：1
- 2007年
- 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明多层膜的纳米硬度值都高于两种个体材料混合相的硬度值;当工作气压为0.2Pa时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、弹性模量、应力均达到最佳效果,最大硬度达到31GPa。多层膜的机械性能改善明显与工作气压的变化有直接的联系。证明了通过选择合适的工作气压条件,合成具有高硬度的纳米多层膜是可以实现的。
- 张学华曹猛乔林杨瑾刘桐李德军
- 关键词：射频磁控溅射工作气压
- 纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
- 李德军黄美东侯兴刚王立群王明霞刘明成曹猛亢原彬董磊等
- 利用磁控溅射和离子束辅助沉积技术合成了具有不同调制结构的ZrB2/AlN、ZrB2/ZrAlN、TiB2/TiAlN、ZrB2/W、ZrB2/WNx、TiB2/Si3N4、TiB2/BN等多种相互组合的纳米多层膜，从优化...
- 关键词：
- 关键词：纳米多层薄膜
- 调制周期对ZrB2/BN纳米多层膜结构和性能的影响
- 本文利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB2、BN和一系列ZrB2/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明：多层膜...
- 金上校曹猛邓湘云李德军
- 关键词：纳米材料
- 文献传递
- 调制周期对ZrB2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响
- 利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB
- 谭明曹猛梁金岭邓湘云李德军
- 关键词：离子束辅助沉积调制周期
- 文献传递
- Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响
- 采用射频磁控溅射系统,以 TaN 和 NbN 作为体材料,制备了一系列 TaN/NbN 纳米多层膜。通过 XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中 Ar/N气体比例对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,纳米多层膜的硬...
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射
- 文献传递
- ZrC/ZrB2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究
- 2007年
- 选择ZrC和ZrB2为个体层材料,利用射频磁控溅射系统在室温下制备具有纳米尺寸的ZrC/ZrB2多层膜.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与ZrC,ZrB2单层厚度比例(tZrC:tZrB2)对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材混合相的值,在调制比例tZrC:tZrB2=1:1.7、调制周期为32 nm时,薄膜显示出很强的ZrC(111)择优趋向和较弱的ZrB2(001)及ZrB2(002)结构,同时产生硬度异常升高的超硬效应,其硬度达到42 GPa.多层膜的机械性能改善明显与其调制结构和多晶结构有着直接的联系.
- 杨瑾张学华曹猛乔林王明霞邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射调制周期超硬
- Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响
- 2007年
- 采用射频磁控溅射系统,以TaN和NbN作为体材料,制备了一系列TaN/NbN纳米多层膜.通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明,纳米多层膜的硬度值普遍高于两种个体材料混合相的值;当FAr:FN2=10时TaN的(110)峰加强,TaN的晶体结构以六方结构为主,NbN的晶体结构以面心立方结构为主,此时,多层膜体系的硬度、弹性模量以及膜基结合性能均达到最佳效果(最大硬度为30 GPa),摩擦磨损实验表明,Ar/N2比为10:1的TaN/NbN多层膜较其他Ar/N2比的多层膜耐磨性更好,不易发生破损,适合实际应用.
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射
- ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与性能的研究被引量：1
- 2007年
- 利用高真空离子束辅助沉积系统在室温下制备了ZrN,TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用X射线衍射仪、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响.结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为6.5 nm时,多层膜硬度达到最高(30.1 GPa),弹性模量、粗糙度、摩擦以及划痕测试均达到最佳效果.
- 曹猛张学华杨瑾刘桐邓湘云李德军
- 关键词：离子束辅助沉积调制周期
- 氩气氮气比例对TaN／NbN纳米多层膜结构与性能的影响
- 本研究采用射频磁控溅射系统,以TaN和NbN作为体材料,制备了一系列TaN／NbN纳米多层膜。通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar／N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,多层膜的纳米硬度值普遍...
- 张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞李德军
- 关键词：射频磁控溅射
- 文献传递
