张蕊
- 作品数：12 被引量：20H指数：3
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 双频共焦台阶高度显微测量装置
- 本发明属于表面形貌测量技术领域,涉及双频共焦台阶高度显微测量装置,包括横向塞曼激光器,依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜;放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波...
- 殷纯永林德教柳忠尧张蕊徐毅
- 文献传递
- 共光路双频外差共焦显微测量装置
- 共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第...
- 孟永钢柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永
- 文献传递
- 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
- 2005年
- 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。
- 柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学线宽共焦显微术
- 共光路双频外差共焦显微测量装置
- 共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第...
- 孟永钢柳忠尧阎聚群张蕊林德教殷纯永
- 文献传递
- 大台阶高度测量的外差共焦方法被引量：7
- 2005年
- 台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米.实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20μm高台阶的测量,对准分辨率为0 1 nm,实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性.
- 闫聚群柳忠尧林德教张蕊殷纯永徐毅许婕
- 关键词：共焦显微术外差干涉相位测量
- 企业信息化成熟度测评指标体系及其设计方法的设计
- 张蕊
- 关键词：评价维度实证调研
- 中美工程担保相关法律问题的比较研究
- 张蕊
- 关键词：工程担保代位权
- 双频共焦台阶高度显微测量装置
- 本发明属于表面形貌测量技术领域，涉及双频共焦台阶高度显微测量装置，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波...
- 殷纯永林德教柳忠尧张蕊徐毅
- 文献传递
- 用伪色差概念和PW方法设计双折射透镜初始结构被引量：2
- 2004年
- 双焦点干涉显微镜因其高稳定性和高分辨率的特点而受到重视 ,其核心元件双折射透镜由一片双折射晶体和一片光学玻璃胶合而成。为了双折射透镜的设计工作方便 ,引入“伪色差”概念 ,定义“伪色散倒数” ,从而可以借用现有的初级像差理论 ,运用PW方法 ,给出满足不同设计要求的三种双折射晶体和三种玻璃配对的双胶合透镜的初始结构表格 ,在不同的应用场合 ,可用OSLO软件进行像差计算和优化设计 ,取得需要的结果。为了便于评价这种特定的结构 ,定义紧凑因子γ作为一个评价指标。给出采用方解石和ZF1作材料的设计实例 ,该设计结构紧凑 (γ =0 .2 5 )。
- 张蕊闫聚群柳忠尧毛文炜殷纯永
- 关键词：应用光学光学设计
- 双频干涉共焦台阶高度测量系统被引量：8
- 2003年
- 提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到 0 1nm。由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求。实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下 1h内的漂移不超过 15nm ,与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在 0 9999以上 ,非线性误差约 10nm。
- 林德教柳忠尧张蕊殷纯永徐毅
- 关键词：测绘仪器相位测量外差干涉共焦显微术
