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庞济

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院更多>>
发文基金：“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇微机械
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇差动
  • 2篇差动电容
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式传感器
  • 1篇电容式压力
  • 1篇电容式压力传...
  • 1篇信号调理
  • 1篇微机械加工
  • 1篇温度补偿
  • 1篇非线性
  • 1篇非线性补偿

机构

  • 3篇大连理工大学

作者

  • 3篇庞济
  • 2篇牛德芳
  • 2篇仲崇权
  • 2篇殷福亮
  • 2篇沈月婷

传媒

  • 2篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2001
  • 2篇2000
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究
电容式传感器具有结构简单、灵敏度高,动态特性好、对辐射和强烈振动等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点.但是,电容式传感器生产时电容引线困难、输邮信号受干扰和温度影响较大、输出特性存在非线性等问题制约了电容式传感器的生...
庞济
关键词：电容式传感器信号调理温度补偿非线性补偿
文献传递
微机械差动电容压力传感器的研究被引量：2
2000年
文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。
牛德芳庞济沈月婷仲崇权殷福亮
关键词：微机械差动电容压力传感器
微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究
2001年
文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺 ,同时 ,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明 。
牛德芳沈月婷庞济仲崇权殷福亮
关键词：差动电容压力传感器微机械
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