孙蕾
- 作品数：18 被引量：53H指数：4
- 供职机构：武汉工程大学更多>>
- 发文基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目国家自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
- 金刚石表面图形化的制备方法
- 本发明涉及金刚石表面图形化的制备方法。金刚石表面图形化的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)金刚石表面的清洁；2)金刚石表面隔离层的制备；3)隔离层表面光刻胶图案的制备；4)金刚石表面隔离层图案的制备；5)去除金刚石...
- 满卫东汪建华马志斌王升高王传新谢鹏孙蕾
- 文献传递
- 甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响被引量：7
- 2008年
- 采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征。结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产。
- 满卫东谢鹏汪建华孙蕾余学超
- 关键词：金刚石涂层硬质合金刀片微波等离子体化学气相沉积
- 微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜涂层钻头
- 在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO:HO=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致...
- 谢鹏汪建华满卫东王传新孙蕾
- 关键词：金刚石涂层钻头微波等离子体化学气相沉积硬质合金
- 文献传递
- 微波等离子体同质外延修复金刚石的研究被引量：9
- 2008年
- 用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒。在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难得到,二次形核现象变的很严重。在实验得出的优化温度条件下,对表面有缺陷的天然金刚石进行了同质外延生长,用扫描电子显微镜(SEM)观察发现,原来金刚石表面的裂缝被修复,外延生长速率达到10.3μm/h。
- 满卫东谢鹏吴宇琼孙蕾汪建华
- 关键词：金刚石微波等离子体化学气相沉积
- 多晶硅薄膜太阳能电池的研究现状被引量：15
- 2008年
- 综述了各类太阳能电池的优缺点和研究应用现状,介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的基本结构及制备工艺和多晶硅薄膜的各种不同制备方法及其优缺点,最后对多晶硅薄膜太阳能电池的研究及应用前景进行了展望。
- 吴斌汪建华满卫东熊礼威谢鹏孙蕾
- 关键词：太阳能电池多晶硅
- 微波CVD金刚石热沉片的制备研究被引量：3
- 2009年
- 采用化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石薄膜具有接近于天然金刚石的导热性能,是目前最为理想的热沉材料。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石热沉片,并在此基础上研究了不同沉积工艺对金刚石热沉片散热性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)检测了薄膜的表面形貌及纯度,金刚石热沉片的导热性能则通过测量封装LED后薄膜的散热效果来进行表征。结果表明,在其他条件不变的情况下,提高生长过程中的微波输出功率、降低反应气压以及增加基片温度有利于制备出散热性能更佳的金刚石热沉片。
- 熊礼威汪建华满卫东谢鹏孙蕾吴斌刘长林
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜
- 高比表面金刚石电极的制备方法
- 本发明属于金刚石电极制备领域。高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)金属电极的清洗；2)导电金刚石膜的制备；3)在导电的金刚石膜表面制备固体刻蚀材料；4)等离子体辅助固体接触法腐蚀金刚石膜表面；5)...
- 满卫东汪建华谢鹏孙蕾陈朋余学超
- 文献传递
- CVD金刚石薄膜半导体材料的研究进展被引量：12
- 2008年
- 含Ⅲ族与Ⅴ族元素掺杂的金刚石是宽禁带的半导体材料,同时具有优异的物理和化学特性,在电子器件与光电子器件方面的应用具有极大潜力,成为近几年来国内外研究的热点之一。介绍了目前常用的掺杂方法、技术水平及金刚石半导体的应用前景。
- 孙蕾满卫东汪建华谢鹏熊礼威李远
- 关键词：金刚石薄膜掺杂半导体N型P型
- 微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备
- 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石...
- 满卫东孙蕾汪建华谢鹏
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜散热片LED
- 文献传递
- 微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备被引量：4
- 2008年
- 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度(甲烷浓度4%)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2%)更有利于提高LED的散热效果。本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料。
- 满卫东孙蕾吴宇琼谢鹏余学超汪建华
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜散热片LED
