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孙庆荣
作品数:
7
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供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
陈田祥
中国科学院高能物理研究所
胡渭
中国科学院高能物理研究所
陈勇
中国科学院高能物理研究所
李晓军
中国科学院高能物理研究所
徐玉朋
中国科学院高能物理研究所
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机构
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作者
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孙庆荣
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陈勇
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胡渭
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亚微米自支撑聚酰亚胺薄膜研制
<正>聚酰亚胺因其优异的力学性能,较好的温度适应性和对极紫外辐射优异的阻挡作用,亚微米聚酰亚胺薄膜在短波长滤光片元件中获得了极为广泛的应用。制备高质量的亚微米聚酰亚胺薄膜对于短波长光学的发展具有重要意义。本文采用联苯二酐
孙庆荣
陈田祥
胡渭
武德珍
陈勇
关键词:
聚酰亚胺
旋涂
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亚微米级自支撑聚酰亚胺薄膜及其制备方法
本发明涉及亚微米级自支撑聚酰亚胺薄膜及其制备方法,该方法主要包括如下步骤:在基片上制备聚酰亚胺薄膜层;在聚酰亚胺薄膜层上获得光刻胶图形,然后沉积金属种子层,在金属种子层上电镀金属层,形成金属框,然后在金属框的支撑下将金属...
胡渭
陈田祥
孙庆荣
陈勇
徐玉朋
卢方军
文献传递
一种旋涂法制备亚微米聚酰亚胺自支撑薄膜的方法
一种旋涂法制备亚微米聚酰亚胺自支撑薄膜的方法,属于聚酰亚胺自支撑膜技术领域。首先制备聚酰胺酸溶液,稀释、过滤,采用旋涂法制备亚微米聚酰胺酸膜,进行预烘,然后在其边缘涂抹高固含量的聚酰胺酸溶液并均匀化,进行热处理,完成亚胺...
武德珍
孙庆荣
陈田祥
胡渭
陈勇
文献传递
亚微米自支撑聚酰亚胺薄膜研制
孙庆荣
陈田祥
胡渭
武德珍
陈勇
关键词:
聚酰亚胺
旋涂
软X射线遮光膜及其制备方法
本发明提供了一种软X射线遮光膜,包括高分子材料薄膜、支撑网及铝层,其中,所述支撑网设置于所述高分子材料薄膜上,所述铝层包覆在所述高分子材料薄膜及支撑网表面上。该软X射线遮光膜覆盖有铝膜,可仅透过软X射线而阻止其它光线,且...
陈田祥
胡渭
孙庆荣
陈勇
李晓军
文献传递
亚微米级自支撑聚酰亚胺薄膜及其制备方法
本发明涉及亚微米级自支撑聚酰亚胺薄膜及其制备方法,该方法主要包括如下步骤:在基片上制备聚酰亚胺薄膜层;在聚酰亚胺薄膜层上获得光刻胶图形,然后沉积金属种子层,在金属种子层上电镀金属层,形成金属框,然后在金属框的支撑下将金属...
胡渭
陈田祥
孙庆荣
陈勇
徐玉朋
卢方军
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软X射线遮光膜及其制备方法
本发明提供了一种软X射线遮光膜,包括高分子材料薄膜、支撑网及铝层,其中,所述支撑网设置于所述高分子材料薄膜上,所述铝层包覆在所述高分子材料薄膜及支撑网表面上。该软X射线遮光膜覆盖有铝膜,可仅透过软X射线而阻止其它光线,且...
陈田祥
胡渭
孙庆荣
陈勇
李晓军
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