吕海滨
- 作品数:5 被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中国工程物理研究院预先研究基金中国工程物理研究院基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信轻工技术与工程更多>>
- 一种自动化干法清洗装置
- 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出,变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头...
- 程晓锋郑万国袁晓东周国瑞王晓红高东贾宝申刘昊牛龙飞苗心向吕海滨
- 文献传递
- 单甲基原位改性SiO_2疏水减反膜的制备与性能研究被引量:5
- 2006年
- 在碱性条件下通过TEOS和MTES的共水解缩聚反应制备了单甲基原位改性的SiO2溶胶,并使用提拉法在K9玻璃基片上镀制了疏水减反膜。通过透射电镜(TEM)考察了镀膜溶胶的微结构,分别使用红外光谱(FTIR)分析了薄膜的组分,用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌和起伏状况,用紫外可见光谱(UV-vis)考察了薄膜的减反射性能,用接触角仪测量了薄膜对水的接触角。并使用“R-on-1”的方式测量了薄膜在Nd:YAG激光(1 064 nm,1 ns)作用下的损伤阈值。结果表明,通过共水解缩聚反应可以把甲基引入镀膜溶胶簇团中,改善了溶胶簇团的网络结构,使薄膜得到相当好的疏水性能和更好的抗激光损伤性能,同时薄膜能保持较好的减反射性能。
- 张磊徐耀黄进蒋晓东吕海滨赵松楠吴东孙予罕魏晓峰
- 关键词:TEOS减反膜激光损伤
- 一种自动化干法清洗装置
- 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出,变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头...
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- 文献传递
- 多重分形谱研究溶胶-凝胶SiO_2疏水减反膜的激光预处理作用被引量:8
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶提拉技术制备了SiO2疏水减反膜.使用Nd:YAG激光(波长为1064nm,脉宽为7.5ns)采用“Ron1”方式对所得膜层进行了激光预处理.在预处理前后采用“1on1”方式考察了薄膜的激光损伤阈值的变化,使用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌的变化,并使用多重分形谱(MFS)方法分析了薄膜分形结构的变化.结果表明经过激光预处理后薄膜的抗激光损伤阈值有了明显提高,均方根表面粗糙度(Rq)稍有减小,膜面变平整,多重分形谱宽度收缩,分形区间的分布均匀性改善.这说明经过激光预处理后薄膜表面微结构趋向规整,使之能够承受更强的激光的辐照.同时也说明借助多重分形谱可以获得更多薄膜表面结构变化的信息,多重分形谱是探索强激光对光学薄膜辐照作用机理的一个十分有用的方法.
- 张磊徐耀蒋晓东梁丽萍吕海滨李绪平魏晓峰吴东孙予罕
- 关键词:SIO2激光预处理多重分形谱激光损伤阈值
- 一种自动化干法清洗装置
- 本实用新型提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出,变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射...
- 程晓锋郑万国袁晓东周国瑞王晓红高东贾宝申刘昊牛龙飞苗心向吕海滨