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刘秀娥

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:西安交通大学更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇压力传感器
  • 1篇压力传感器设...
  • 1篇力传感器
  • 1篇敏感元件
  • 1篇耐高温
  • 1篇固态
  • 1篇固态传感器
  • 1篇SOI
  • 1篇
  • 1篇传感器设计

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇赵玉龙
  • 2篇高建忠
  • 2篇王文襄
  • 2篇刘秀娥
  • 2篇赵立波
  • 2篇蒋庄德
  • 1篇周建发
  • 1篇白光辉
  • 1篇林晓迟
  • 1篇王建军
  • 1篇陈俊刚
  • 1篇徐静波

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发
蒋庄德赵玉龙赵立波高建忠王文襄刘秀娥
该项目属微机械、仪器仪表与传感器等多学科交叉领域。针对航空航天、石油化工、军工等领域高温、高过载等恶劣环境下的压力测量难题,开展了耐高温压力传感器设计、制造等关键技术研究,主要内容如下:研究了耐高温压力传感器敏感元件的结...
关键词:
关键词:压力传感器耐高温敏感元件
SOI硅微固态传感器关键技术研究及系列产品开发
蒋庄德赵玉龙赵立波王文襄高建忠陈俊刚徐静波周建发刘秀娥林晓迟王建军白光辉
在国家863项目组及省、市科技部门的支持下,我校针对特种领域对高温压力测试的迫切需求,采用基于SOI(硅隔离)技术的固态浮雕式压阻力敏芯片和新型的硅杯、梁膜结构,使SOI耐高温压力传感器可用于高温及高频等恶劣条件下的压力...
关键词:
关键词:SOI传感器
共1页<1>
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