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饶伟星

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇研磨液
  • 1篇制造业
  • 1篇体硅
  • 1篇化学技术
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅材料
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体硅
  • 1篇半导体硅材料
  • 1篇半导体集成
  • 1篇半导体集成电...

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇吴雄杰
  • 1篇饶伟星

传媒

  • 1篇化工生产与技...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学在半导体硅材料制造业的作用与展望被引量：2
2002年
针对半导体集成电路行业的迅猛发展,概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况,着重阐明了当代化学技术及其产品对硅材料制造业发展的重要作用,以及随着硅材料业向更高层次的迈进,给化学化工行业带来的挑战与机遇。
吴雄杰饶伟星
关键词：半导体集成电路半导体硅材料化学技术研磨液
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