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陈盛
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2
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供职机构:
物理与信息工程学院
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相关领域:
一般工业技术
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
林吉申
物理与信息工程学院
王灵婕
物理与信息工程学院
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林吉申
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中国兵工学会...
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2篇
2004
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新型MEMS氨气传感器的测试
本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
王灵婕
陈盛
林吉申
关键词:
氨气
传感器
气敏器件
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新型MEMS氨气传感器的测试
2004年
本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
王灵婕
陈盛
林吉申
关键词:
MEMS
氨气
传感器
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