陈猛
- 作品数：57 被引量：20H指数：3
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
- 射频等离子体中丙烯单体聚合过程的发射光谱研究
- 陈猛
- 关键词：射频等离子体丙烯单体发射光谱
- FCVA沉积角度对DLC薄膜性质的影响
- 陈猛
- 关键词：DLC薄膜磁头
- 低能低剂量注水形成SOI结构材料的研究被引量：1
- 2002年
- 采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料。测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料。在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析。结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关。
- 陈静王湘董业民郑志宏陈猛王曦
- 关键词：SOI结构离子注入
- 等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
- 1995年
- 介绍了等离子体聚合方法,重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系,并给出结论.
- 马振国杨津基陈猛
- 关键词：等离子体聚合湿度传感器介质膜
- 一种探测装置和实现太赫兹波探测的方法
- 本文公开一种探测装置和实现太赫兹波探测的方法，本发明实施例探测装置包括：构成电磁谐振阵列的两个以上探测单元，探测单元包括：沟道、正金属电极、负金属电极和电磁谐振结构；其中，正金属电极和负金属电极欧姆接触于沟道的两端，且仅...
- 赵自然王迎新陈猛李亮
- 文献传递
- 剂量－能量优化注氧隔离技术制备图形化绝缘体上的硅材料
- 本发明公开了一种制备高质量图形化SOI材料的方法，依次包括在半导体衬底上生成掩模、离子注入和高温退火，其特征在于，(1)离子注入前在硅片上形成掩模以在体硅区域完全阻挡离子的注入；(2)离子注入时的能量范围是50～200 ...
- 董业民陈猛王曦王湘陈静林梓鑫
- 文献传递
- 采用侧墙技术制备有纳米硅通道的埋氧的方法
- 本发明涉及了一种采用侧墙技术制备有纳米硅通道的埋氧的方法，属于微电子技术领域，依次包括纳米侧墙的生成，以侧墙为掩模刻蚀出阻挡离子注入的掩模，离子注入和高温退火等步骤，其特征在于：(1)采用常规工艺形成纳米侧墙，其厚度为3...
- 董业民王曦陈猛陈静
- 文献传递
- 一种实现物品检测的方法和系统
- 本文公开一种实现物品检测的方法和系统，本发明实施例包括：对待检物品的太赫兹成像进行图像分析，将太赫兹成像中满足预设图像特征的区域确定为待检测区域；获取确定的待检测区域的光谱信息；根据获取的光谱信息确定待检测区域中包含的物...
- 王迎新赵自然王弘恩陈猛吴炜东
- 文献传递
- 太赫兹光热电探测器读出方法
- 2024年
- 太赫兹光热电探测器基于热生载流子在温度梯度驱使下迁移的原理实现太赫兹波探测,具有快响应、超宽带、自供电、室温工作及结构简单等优势,受到广泛关注。目前,探测器读出主要采用调制-解调方法,通过电流放大器与锁相放大器级联实现测量,集成度低,成本高,难以实现阵列读出。为满足光谱测量、成像感知等应用需求,本文对光热电阵列探测器单元读出方法进行研究。从探测器机理出发,对输出信号进行建模分析;在此基础上设计板级专用读出电路,实现前置放大与锁相放大功能。测试表明,该方法可以在强噪声背景环境下对太赫兹光热电探测器进行高精确度读出,增益达到140.7 dB,信噪比改善了38.3 dB。
- 张金铎陈猛刘睿丰王迎新
- 关键词：读出电路太赫兹波锁相放大
- SIMOX圆片制备技术及其进展
- SOI(silicon on insulator)较之体硅技术具有以下优越性:低压低功耗、高速、耐高温以及抗辐照、减小软误差等.SIMOX技术制备的SOI圆片具有工艺简单、顶层硅质量好且厚度可控、重复性和均匀性好等优点,...
- 陈猛林梓鑫王曦
- 关键词：注氧隔离技术
- 文献传递
