许鸿
- 作品数:12 被引量:68H指数:5
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信金属学及工艺核科学技术更多>>
- 红外激光薄膜表面缺陷研究被引量:3
- 2005年
- 薄膜缺陷是影响红外激光薄膜元件抗激光损伤的重要因素之一,长期以来一直是人们关注和研究的问题。本文介绍了红外激光薄膜缺陷的种类、特点及成因,在此基础上,分析了不同厂家镀膜材料与不同镀膜速率对薄膜表面缺陷密度的影响,并且得出了镀制激光薄膜所需的合适材料与速率,最后利用有限元方法对典型的节瘤与陷穴缺陷受激光作用进行了模拟分析,结果表明:节瘤缺陷种子深度小且直径大的缺陷产生的温升与应力较大,陷穴缺陷随直径增大,其产生的温升与应力也较大。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:激光薄膜红外激光缺陷密度镀膜材料激光作用节瘤
- 一种新型三层双波段减反射膜设计研究被引量:4
- 2006年
- 双波段增透膜在激光系统中得到越来越多的应用,目前薄膜设计方法仅能设计简单的V与W型增透薄膜,利用矢量方法提出了一种新型的三层双波段减反射膜设计方法,基于所提出的薄膜设计方法,设计一个实例,与实际镀制薄膜反射光谱进行了对比,结果表明:实际镀制结果与理论计算结果具有较好的吻合,在所要求的波长处反射率为0.25%与0.29%,基本达到了工作要求。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:光学薄膜
- 自适应光学技术在惯性约束聚变领域应用的新进展被引量:26
- 2009年
- 在惯性约束聚变(ICF)领域,采用自适应光学(AO)技术进行波前控制是解决ICF激光系统中光束质量问题的重要手段。报道了"神光Ⅲ"原型装置中8套工程化自适应光学系统、未来ICF系统发展所需的大口径可拆卸变形镜(DM)样镜研制以及ICF自适应光学波前控制技术的最新研究进展。8套工程化自适应光学系统在"神光Ⅲ"原型装置上实现了到靶点的全系统静态像差校正,改善了靶点焦斑能量分布,验证了校正对打靶时X射线分布的改善效果。所研制的17单元大口径可拆卸变形镜的口径为284 mm×284 mm,行程大于±6 μm,谐振频率大于500 Hz。在ICF自适应光学波前控制技术中,采用了基于哈特曼传感器近场相位测量的控制方法和基于靶室远场的随机并行梯度下降(SPGD)控制方法均能取得良好的校正性能。
- 姜文汉杨泽平官春林张小军饶长辉张雨东李恩德许鸿黄林海凡木文施宁平
- 关键词:自适应光学惯性约束聚变
- 基底温度对YbF_3薄膜缺陷和光学性能影响研究被引量:6
- 2006年
- 采用热蒸发法镀制了单层Y bF3薄膜,观察了薄膜表面主要的微观结构缺陷,研究了沉积温度对薄膜折射率与表面缺陷的影响,测量了薄膜施加沉积温度前后的粗糙度变化。结果表明:通过加温可以降低薄膜的表面粗糙度与缺陷密度大小。
- 张耀平张云洞凌宁许鸿
- 关键词:表面粗糙度缺陷密度光学薄膜
- 光学薄膜残余应力分配预测模型计算方法研究
- 2006年
- 残余应力是光学薄膜研究的一个重要组成部分,它对光学元器件有很大的影响。根据弹性力学原理,基于应变不匹配,提出了一种可以预测薄膜残余应力分配的理论模型计算方法,并将计算结果与干涉仪测量值进行了对比。利用所建立的模型分析了薄膜参数变化时基底残余应力的变化情况。结果表明:所建模型合理;随着镀膜温度的增加,基底总残余应力随镀膜温度升高而呈增大的趋势;本征应力变化不太大;随着基底厚度的减小,基底上下表面应力呈增大的趋势,而薄膜应力则呈减小趋势,但变化趋势很小。基底的中心轴约位于基底上表面以下2/3处。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:残余应力
- 变形反射镜薄膜应力与元件变形有限元研究被引量:5
- 2005年
- 残余应力是变形反射镜面临的一个重要问题。考虑薄膜中残余应力的起源,利用有限元软件建立了变形反射镜有限元模型。基于所建立的有限元模型,计算变形镜各部分受薄膜残余应力作用后的变形与应力分布。与试验测量结果进行对比,计算结果表明,建立的模型是合理的,薄膜产生的残余应力为张应力,氟化物薄膜产生的张应力大于ZnS薄膜产生的压应力,残余应力主要集中在变形反射镜镜面上,基本呈放射状分布,外圈驱动器受到应力较大。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:薄膜应力有限元分析自适应光学
- YbF_3沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷的影响被引量:7
- 2005年
- 在介绍了薄膜缺陷的特点及成因的基础上,分析了YbF3沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷密度的影响,得出了镀制激光薄膜所需的合适速率。结果表明:薄膜表面缺陷主要以节瘤缺陷与陷穴缺陷为主,其缺陷密度随YbF3沉积速率的减小基本表现为减小的趋势,当ZnS沉积速率约为0.2nm/s,YbF3沉积速率约为0.4nm/s时,可得到比较满意的激光薄膜,薄膜表面缺陷密度仅为0.000675。
- 张耀平许鸿凌宁张云洞
- 关键词:激光薄膜沉积速率缺陷密度损伤阈值
- 活体人眼视网膜高分辨力成像和高阶像差测量新设备
- 凌宁张雨东饶学军胡羿云王成叶清秀李新阳王宏桥张建华余翔薛丽霞许鸿杨梅杨泽平向银辉
- “微小变形反射镜”研制,以及 “19单元视网膜成像自适应光学系统”研制。该课题成功研制世界上首台可进入临床试验的活体人眼视网膜自适应光学成像仪--活体人眼视网膜自适应光学成像仪,分辨力接近人眼衍射极限(2.6μm);首次...
- 关键词:
- 氧分压对HfO2薄膜残余应力的影响及有限元分析被引量:5
- 2008年
- 利用电子束蒸发法制备了单层HfO2膜,控制氧气流量从0 mL/min以步长5 mL/min递增至25 mL/min(标况下)。利用ZYGO干涉仪测量基片镀膜前后的面形变化,代入Stoney公式计算出残余应力,分析了不同氧压下残余应力的变化情况。随着氧压的增大,残余应力由张应力逐渐过渡到压应力,当氧压过大时,压应力减小。因此可以通过改变氧压来控制应力。应力的变化与薄膜的微观结构密切相关,分析了所有样品的X射线衍射图(XRD),发现均为非晶结构。利用Ansys建立基片-薄膜有限元模型,将应力作用下基片的形变与实验结果进行对比,验证所建立的模型,为分析HfO2/SiO2膜堆应力的匹配设计提供参考。
- 张丽莎许鸿
- 关键词:电子束蒸发HFO2薄膜残余应力氧分压有限元分析
- 薄膜残余应力有限元分析研究被引量:15
- 2005年
- 利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的。
- 张耀平张云洞凌宁许鸿
- 关键词:残余应力有限元有限元分析有限元软件