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白羽

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院更多>>
发文基金：辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压阻
  • 2篇压阻式
  • 2篇速度传感器
  • 2篇谐振频率
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇感器
  • 2篇超薄
  • 2篇传感
  • 2篇传感器

机构

  • 2篇沈阳工业大学

作者

  • 2篇白羽
  • 1篇靳晓诗
  • 1篇揣荣岩
  • 1篇代全
  • 1篇吴美乐

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构被引量：4
2013年
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。
揣荣岩白羽吴美乐代全靳晓诗
关键词：加速度传感器压阻式谐振频率
多晶硅纳米膜加速度传感器结构研究
论文简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展概况,分析了国内外硅微压阻式加速度传感器研究取得的成果。详细介绍了超薄微梁压阻式加速度传感器的工作原理和结构特性。针对应用于触发汽车安全保护气囊,量程为±100g的加速度传感...
白羽
关键词：加速度传感器压阻式谐振频率
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