王东方
- 作品数：13 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 高精度镜间隔调整环的测量方法及装置
- 高精度镜间隔调整环的测量的方法及装置，涉及超精密光机系统测量技术领域，解决现高精度光刻投影物镜中高精度镜间隔调整环的测量方法，检测精度低，无法实现1μm以下的公差的检测问题，包括三坐标测量机，设置在工作台面上的第一球形支...
- 王东方李全松贾鹏隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种用于坐标测量机的盘类工件检测工位调整工装
- 本发明公开了一种用于坐标测量机的盘类工件检测工位调整工装，调整工装包括基座（1）、固定设置于基座（1）上的升降装置（21）、位于基座（1）上方与所述升降装置（21）连接的翻转装置（22），其可实现待检测工件的空间翻转功能...
- 贾鹏门树东李显凌王东方杨怀江隋永新
- 文献传递
- 一种用于反射镜光学元件的角度调整装置
- 本发明公开了一种用于反射镜光学元件的角度调整装置。该用于反射镜光学元件的角度调整装置包括：柔性支撑结构，柔性支撑镜框，角度调整螺钉，柔性支撑板；所述反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构设置在所述柔性支撑镜框上；所述柔性支撑...
- 李全松张辉王东方王汝冬杨怀江隋永新
- 文献传递
- CF_4/SF_6反应气体对大气压等离子体温度的影响被引量：1
- 2011年
- 为了探究CF4/SF6反应气体及其含量对大气压等离子体的温度的影响规律,采用红外热像仪记录等离子体反应区域的温度。实验结果表明在系统输入功率为260W时,对于CF4气体,等离子体区域的温度随着CF4含量的增加先升高然后降低;对于SF6气体,等离子体区域的温度随着SF6含量的增加而逐渐降低;在相同条件下,反应气体为SF6时等离子体区域的温度比反应气体为CF4时的等离子体的温度高。
- 王东方金会良金江王波
- 关键词：温度红外热像仪
- 一种用于坐标测量机的盘类工件检测工位调整工装
- 本发明公开了一种用于坐标测量机的盘类工件检测工位调整工装，调整工装包括基座（1）、固定设置于基座（1）上的升降装置（21）、位于基座（1）上方与所述升降装置（21）连接的翻转装置（22），其可实现待检测工件的空间翻转功能...
- 贾鹏门树东李显凌王东方杨怀江隋永新
- 高精度镜间隔调整环的测量方法及装置
- 高精度镜间隔调整环的测量的方法及装置，涉及超精密光机系统测量技术领域，解决现高精度光刻投影物镜中高精度镜间隔调整环的测量方法，检测精度低，无法实现1μm以下的公差的检测问题，包括三坐标测量机，设置在工作台面上的第一球形支...
- 王东方李全松贾鹏隋永新杨怀江
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- 一种用于反射镜光学元件的角度调整装置
- 本发明公开了一种用于反射镜光学元件的角度调整装置。该用于反射镜光学元件的角度调整装置包括：柔性支撑结构，柔性支撑镜框，角度调整螺钉，柔性支撑板；所述反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构设置在所述柔性支撑镜框上；所述柔性支撑...
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- 柔性结构件的加工方法及装置
- 本发明公开了一种柔性结构件的加工方法以及装置。该方法包括：加工电极，使得所述电极的放电面与所述柔性结构件的面形和精度匹配；将所述电极安装到具有旋转和垂直位移功能的机床上，使所述电极与机床的Z轴同轴；将工件装夹在工作台上，...
- 王东方葛成崔涛李全松隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种光学元件的五自由度微动调整机构
- 一种光学元件的五自由度微动调整机构属于精密调整技术领域，目的在于解决现有技术存在的难以保证加工精度、占用较大的调整空间以及可调节自由度少的问题。本发明的一种光学元件的五自由度微动调整机构包括光学元件、压框、镜框、镜座、倾...
- 王汝冬王东方李全松张辉崔涛隋永新
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- 大气等离子体加工熔石英技术研究被引量：2
- 2013年
- 为了高效获得无亚表面损伤的超光滑光学表面,提出了大气等离子体加工技术。它的工作原理是在大气压环境下通过等离子体中的活性粒子与工件表面原子发生化学反应实现材料去除,可以避免传统光学加工方法中机械接触应力带来的亚表面损伤问题。本文基于光谱定量分析原理和红外测温原理,研究反应气体含量、输入功率、加工距离和加工时间等因素对光学材料熔石英去除率的影响规律。实验结果表明,当CF4的含量为3.5%时,熔石英的去除深度每分钟最高达3.5μm,远高于目前的传统抛光工艺效率;加入适量的O2能进一步提高去除率;去除率与输入功率在一定范围内呈线性关系,且不随加工时间变化。
- 王东方
- 关键词：大气等离子体去除率熔石英
