焦刚 作品数:35 被引量:65 H指数:4 供职机构: 南京电子器件研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 电气工程 更多>>
凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT 被引量:2 2007年 研制的SiC衬底上的AlGaN/GaN微波功率HEMTs,采用凹槽栅和场调制板结构有效抑制了器件的电流崩塌,提高了器件的击穿电压和器件的微波功率特性.研制的1mm栅宽器件在8GHz,34V工作电压下,饱和输出功率达到了9.05W,功率增益为7.5dB,功率附加效率为46%. 陈堂胜 王晓亮 焦刚 钟世昌 任春江 陈辰 李拂晓关键词:宽禁带半导体 场板 SiC基AlGaN/GaN HEMTs外延工艺研究 利用MOCVD研究了SiC衬底AlGaN/GaN HEMTs材料外延生长工艺。所研制GaNHEMTs外延材料的2DEG方块电阻不均匀性约为2%,n×μ达到2.2×10/V·s(室温)。采用上述材料制作1 mm栅宽HEMT... 李忠辉 董逊 任春江 李亮 焦刚 陈辰 陈堂胜关键词:碳化硅 氮化镓 高电子迁移率晶体管 X波段GaN单片电路低噪声放大器 被引量:3 2011年 采用0.25μm GaN HEMT制备工艺在AlGaN/GaN异质结材料上研制了高性能X波段GaN单片电路低噪声放大器。GaN低噪声单片电路采取两级微带线结构,10 V偏压下芯片在X波段范围内获得了低于2.2 dB的噪声系数,增益达到18 dB以上,耐受功率达到了27 dBm。在耐受功率测试中发现GaN低噪声HEMT器件存在一定的恢复效应,并进行了相应讨论。 周建军 彭龙新 孔岑 李忠辉 陈堂胜 焦刚 李建平关键词:低噪声放大器 微波单片集成电路 Pt基埋栅势垒GaAs基增强型InAlAs/InGaAs改性高电子迁移率晶体管 被引量:1 2004年 讨论了采用埋栅结构实现 Ga As基改性高电子迁移率晶体管 (MHEMT)增强型模式工作的有关问题 ,提出了增强型 MHEMT的设计与实现方法 .通过不同金属 (Al,Pt,Ti) / In Al As Schottky势垒系统的实验比较研究 ,确定在增强型 MHEMT工艺中采用具有最高势垒高度的 Pt Schottky埋栅结构 ;并进行了以最佳“推栅”温度为重点的器件工艺的深入研究 .在此基础上通过实验研制的原理性 1.0 μm× 10 0 μm Pt栅增强型 MHEMT的特性获得了夹断电压为 +0 .12 V,跨导为 4 70 m S/ m m及截止频率为 5 0 GHz的测试结果 ,优于使用同一外延片制作的 陈效建 吴旭 李拂晓 焦刚关键词:MHEMT 增强型 稳定性 非掺杂AlGaN/GaN微波功率HEMT 被引量:14 2004年 报道了研制的 Al Ga N / Ga N微波功率 HEMT,该器件采用以蓝宝石为衬底的非掺杂 Al Ga N/ Ga N异质结构 ,器件工艺采用了 Ti/ Al/ Ni/ Au欧姆接触和 Ni/ Au肖特基势垒接触以及 Si N介质进行器件的钝化 .研制的 2 0 0μm栅宽 T型布局 Al Ga N / Ga N HEMT在 1.8GHz,Vds=30 V时输出功率为 2 8.93d Bm,输出功率密度达到 3.9W/mm ,功率增益为 15 .5 9d B,功率附加效率 (PAE)为 4 8.3% .在 6 .2 GHz,Vds=2 5 V时该器件输出功率为 2 7.0 6 d Bm ,输出功率密度为 2 .5 W/ mm ,功率增益为 10 .2 4 d B,PAE为 35 .2 % . 陈堂胜 焦刚 薛舫时 曹春海 李拂晓关键词:宽禁带半导体 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 磁控溅射AlN介质的14W/mm AlGaN/GaN MIS-HEMT 被引量:1 2009年 介绍了一种采用磁控溅射AlN介质作为绝缘层的的SiC衬底AlGaN/GaN MIS-HEMT。器件研制中采用了凹槽栅和场板结构。采用MIS结构后,器件击穿电压由80V提高到了180V以上,保证了器件能够实现更高的工作电压。在2GHz、75V工作电压下,研制的200μm栅宽AlGaN/GaN MIS-HEMT输出功率密度达到了14.4W/mm,器件功率增益和功率附加效率分别为20.51dB和54.2%。 任春江 陈堂胜 焦刚 耿涛 薛舫时 陈辰关键词:ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管 MIS 电流崩塌 SiC衬底AlGaN/GaN HEMT的热分析与测试 被引量:1 2007年 对SiC衬底AlGaN/GaN HEMT的结温进行了理论计算与实测。计算中考虑了衬底材料热导率随温度的变化以及器件源、漏电阻上的热损耗,不同耗散功率下的理论计算与红外显微镜实测结果比较表明,两者相差最大不超过10℃。由于理论计算结果是在解析解的基础上运用计算机迭代计算获得,所耗时间较短,故这一结果对于改善器件结构以提高AlGaN/GaN HEMT及其MMIC电路的性能将有较大帮助。 任春江 陈堂胜 焦刚 李肖 薛舫时 李拂晓关键词:氮化镓 宽禁带 热分析 红外显微镜 X波段连续波119W GaN功率HEMT 被引量:1 2008年 钟世昌 陈堂胜 任春江 焦刚 陈辰 邵凯 杨乃彬关键词:微波功率器件 HEMT 连续波 X波段 功率输出 半导体技术 Ku波段20W AlGaN/GaN功率管内匹配技术研究 被引量:8 2010年 文章的主要目的是研究第三代半导体AlGaN/GaN功率管内匹配问题。以设计Ku波段20WGaN器件为例,研究了内匹配电路的设计、合成以及内匹配电路的测试,实现了GaN功率HEMT在Ku波段20W连续波输出功率的内匹配电路,并使整个电路的输入、输出电路阻抗提升至50Ω。最终所研制的AlGaN/GaNKu波段内匹配功率管在11.8GHz~12.2GHz频带内,输出功率大于20W。在12GHz功率增益大于5dB,功率附加效率29.07%,是目前国内关于GaN功率器件在Ku波段连续波输出的最高报道。 孙春妹 钟世昌 陈堂胜 任春江 焦刚 陈辰 高涛关键词:GAN 功率管 内匹配 蓝宝石衬底上AlGaN/GaN HEMT研究 报告了研制的AlGaN/GaN微波功率HEMT,该器件采用以蓝宝石为衬底的非掺杂AlGaN/GaN异质结构,器件工艺采用了Ti/Al/Ni/Au欧姆接触和Ni/Au肖特基势垒接触以及SiN介质进行器件的钝化。研制的200... 焦刚 陈堂胜 薛舫时 李拂晓关键词:宽禁带半导体 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管