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潘涛
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1
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供职机构:
苏州科技学院
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相关领域:
电气工程
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合作作者
程新利
苏州科技学院
王冰
苏州科技学院
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苏州科技学院
作者
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潘涛
1篇
王冰
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程新利
年份
1篇
2013
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MEMS技术半导体硅压阻高频、微型、高温系列动态力敏传感器
王文襄
王冰
毛超民
潘涛
程新利
孙晋玲
1、主要技术内容:该项目属微电子与元器件领域。在针对军工、医疗、工业高端制造、石化、水利及桥梁、建筑等行业对具有微型、高频、高温等测量需求,突破国外技术封锁,开展高频、高温及微小型等各种动态力敏传感器的研究。微封装技术的...
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力敏传感器
封装工艺
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