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桂裕宗
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杜秉初
清华大学
刘惠敏
清华大学
应根裕
清华大学
刘慧敏
清华大学
周伟
清华大学
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清华大学
作者
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桂裕宗
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杜秉初
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张剑
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周伟
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刘慧敏
1篇
应根裕
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刘惠敏
传媒
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1988年全...
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第九届真空电...
年份
1篇
1999
1篇
1993
1篇
1988
2篇
1985
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5
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高效MCP二次电子接收器在SEM中的应用
被引量:2
1999年
本文详细描述了MCP在SEM 中的应用,论述了具体接收器的结构和放大系统的结构性能,给出一系列实验参数及图像的对比结果,证明了MCP接收器完全可以在SEM 中高效可靠地替代原有的接收器。
钱可元
桂裕宗
关键词:
电子显微镜
MCP
SEM
用SEM中利用固定位移法实现IC线宽测量
简要叙述了利用固定位移法,在SEM中实现对IC线宽的测量。该方法的主要优点是:方法简单,测量精度较高且与SEM系统精度无关;由于实现微机控制,测量操作是自动完成的,适用于IC生产过程中对线宽进行监测;测量装置可做为一个附...
周伟
杜秉初
桂裕宗
关键词:
大规模集成电路
压电陶瓷
线宽
软玻壳精密内径真空校形工艺
软玻壳精密内径真空校形工艺,用于电真空器件的玻壳制造。本发明采用管状电炉加热对含铅软质玻壳进行真空热校形,解决了玻壳加热时铅易析出而使玻壳发黑和易炸裂的工艺问题,制定了一个可行的加工方法,并确定了成形温度的温度范围,校形...
刘惠敏
桂裕宗
文献传递
动态真空八位光导靶面测试台
本实用新型是一个动态真空八位光导靶面测试台,它是用于测试光导摄象管靶面物理参数的装置,其主要特点在于具备测量光电惰性的全套电路及辅助装置,此外在机械结构上本实用新型还采用了:1)磁力耦合非接触式的机械传动装置。2)特殊磁...
应根裕
杜秉初
刘慧敏
桂裕宗
张剑
文献传递
彩管测试用色纯、静会聚校准系统
桂裕宗
关键词:
彩色显像管
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