孙全涛
- 作品数：10 被引量：0H指数：0
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 一种加热丝嵌入式硅基微热板及加工方法
- 本发明公开了一种加热丝嵌入式硅基微热板及制备方法，所述微热板采用硅基材料制备，易于MEMS加工工艺上的实现。其特征在于，在传统“三明治”夹层结构的基础上，将加热丝埋入到基底绝缘膜层中，通过周围致密绝缘膜层对加热丝的约束作...
- 王海容张欢孙全涛陈磊蒋庄德
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- 一种应用于气体传感器的加热丝埋入式微热板研制
- 论文研制一种具有新型结构的加热丝埋入式微热板,该微热板可作为半导体型气体传感器的微型热源与传感器集成平台.在传统'三明治'夹层结构的基础上,微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中,通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用,减小了P...
- 王海容张欢孙全涛陈磊赵玉龙
- 关键词：气体传感器微热板
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- 一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
- 本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
- 王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
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- 一种用于氧传感器的TiO<Sub>2</Sub> 敏感层结构及其制备方法
- 本发明涉及一种用于氧传感器的TiO<Sub>2</Sub>敏感层结构及其制备方法，TiO<Sub>2</Sub>敏感层结构通过网状处理，可抑制裂纹产生和裂纹的传播，有效的减少了热应力产生的裂纹，表面与体积比的提高，有利于...
- 王海容孙全涛张欢陈磊
- 一种加热丝嵌入式硅基微热板及加工方法
- 本发明公开了一种加热丝嵌入式硅基微热板及制备方法，所述微热板采用硅基材料制备，易于MEMS加工工艺上的实现。其特征在于，在传统“三明治”夹层结构的基础上，将加热丝埋入到基底绝缘膜层中，通过周围致密绝缘膜层对加热丝的约束作...
- 王海容张欢孙全涛陈磊蒋庄德
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- 基于纳米TiO<Sub>2</Sub> 薄膜的微型氧气传感器及制备工艺
- 本发明公开了一种基于纳米TiO<Sub>2</Sub>薄膜的微型氧气传感器及制备工艺，该传感器自下而上分别为硅基底、二氧化硅和氮化硅绝缘层、敏感层与加热丝、叉指电极层。制备工艺包括：在Si<Sub>3</Sub>N<Su...
- 王海容王嘉欣陈磊孙全涛孙侨吴志红
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- 封闭空间内空气质量监测及净化装置
- 本发明公开了一种封闭空间内空气质量监测及净化装置，包括由光触媒模块、置于光触媒模块上侧面上方的紫外光模块、置于光触媒模块侧面的风扇，其特征在于，光触媒模块置于相互平行的前板与后板之间；紫外光模块、风扇与一个监测与控制模块...
- 王海容孙全涛李剑陈敏
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- 一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
- 本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
- 王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
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- 一种加热丝埋入式微热板的研制
- 2013年
- 在传统"三明治"夹层结构的基础上,微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中,通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用,减小了Pt加热丝与基底以及覆盖层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响,从而提高微热板在高温工作时的稳定性。主要加工工艺流程为:利用热氧化方法和LPCVD在4 in硅片两侧制备SiO2/Si3N4介质层,在待埋入加热丝的位置通过RIE制作出坑槽,然后利用剥离工艺制备出双曲螺旋形状Pt加热丝,在硅片的背部利用RIE干法刻蚀和湿法刻蚀加工出绝热槽,最后在加热丝的上方沉积一层SiO2绝缘层并在引线盘位置开窗。通过实验验证:该微热板在350℃内可以稳定工作,微热板在有效面积内(5 mm×5 mm)温度均匀性好,功率约为130 mW(350℃时)。
- 丁如义张欢孙全涛王海容陈磊
- 关键词：微热板微机电系统低功耗
- 一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法
- 本发明涉及一种用于氧传感器的TiO<Sub>2</Sub>敏感层结构及其制备方法，TiO<Sub>2</Sub>敏感层结构通过网状处理，可抑制裂纹产生和裂纹的传播，有效的减少了热应力产生的裂纹，表面与体积比的提高，有利于...
- 王海容孙全涛张欢陈磊
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