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周仲承
作品数:
2
被引量:16
H指数:2
供职机构:
国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国家重点实验室
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发文基金:
武器装备预研基金
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
一般工业技术
轻工技术与工程
理学
化学工程
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合作作者
王娟
国防科学技术大学航天与材料工程...
冯坚
国防科学技术大学航天与材料工程...
张长瑞
国防科学技术大学航天与材料工程...
高庆福
国防科学技术大学航天与材料工程...
成慧梅
国防科技大学
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机构
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文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
1篇
化学工程
1篇
轻工技术与工...
1篇
一般工业技术
1篇
理学
主题
1篇
低介电常数
1篇
电路
1篇
多孔
1篇
有序介孔
1篇
有序介孔材料
1篇
脱除
1篇
脱除方法
1篇
萃取
1篇
煅烧
1篇
模板剂
1篇
纳米
1篇
纳米多孔
1篇
介电
1篇
介电常数
1篇
介孔
1篇
介孔材料
1篇
孔材料
1篇
集成电路
1篇
SIO2薄膜
1篇
ULSI
机构
2篇
国防科学技术...
1篇
国防科技大学
作者
2篇
成慧梅
2篇
高庆福
2篇
周仲承
2篇
张长瑞
2篇
冯坚
2篇
王娟
传媒
2篇
材料导报
年份
2篇
2005
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
有序介孔材料制备过程中模板剂脱除方法研究进展
被引量:11
2005年
有序介孔材料孔径均一,孔道排列有序,有着巨大的应用前景。在其制备过程中,模板剂的脱除是十分重要的一个步骤。综述了模板剂的脱除方法,总结了已经出现的几种工艺,指出了脱除过程中的关键问题及改进的方向。
周仲承
冯坚
成慧梅
张长瑞
高庆福
王娟
关键词:
有序介孔材料
模板剂
煅烧
萃取
脱除方法
纳米多孔SiO_2薄膜疏水性的研究进展
被引量:5
2005年
超低介电常数纳米多孔 SiO_2薄膜在未来超大规模集成电路(ULSI)中有着广阔的应用前景,但其疏水性能的好坏是决定其能否在 ULSI 中应用的重要因素之一。介绍了国内外有关纳米多孔 SiO_2薄膜疏水性的原理、工艺以及表征方法。
高庆福
冯坚
成慧梅
周仲承
王娟
张长瑞
关键词:
纳米多孔
SIO2薄膜
低介电常数
超大规模集成电路
超低介电常数
ULSI
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