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高家法

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
相关领域：核科学技术理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能评价
  • 1篇测量系统
  • 1篇测试系统

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇陈锵
  • 1篇高家法
  • 1篇王秋平
  • 1篇胡中文
  • 1篇余小江
  • 1篇王琪民

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
变间距光栅刻线密度测试系统的性能评价被引量：9
2004年
在国家同步辐射实验室二期工程光束线的建设中,建立了一套变间距光栅刻线密度的测试系统。该系统采用衍射测量法测量光栅间距的变化,可以对光栅长度为100 mm的平面和凹面光栅的刻线密度进行测量。样品测量结果表明,该系统的测量精度△N/N<2×10^(-4),满足光束线工程的要求,可以作为NSRL进口的变间距光栅的验收工具。
陈锵胡中文余小江高家法王秋平王琪民
关键词：测量系统
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共1页<1>
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