肖日松
- 作品数：7 被引量：16H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程更多>>
- 微电铸的析氢现象研究
- 讨论了微电铸工艺中的析氢现象。析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能。通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿...
- 肖日松杜立群刘海军褚德南刘冲
- 关键词：微电铸LIGA析氢镍
- 文献传递
- 微电铸金属模具的制作方法
- 一种微电铸金属模具的制作方法属于微制造技术微电铸金属模具领域，微电铸金属模具的制作方法包括模具基底前处理、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序。采用“无背板生长法”，无背板生长法就是通过紫外线照射光刻掩...
- 杜立群罗怡刘冲娄志峰肖日松薛琳张永彩
- 文献传递
- 微电铸的析氢现象研究被引量：4
- 2005年
- 讨论了微电铸工艺中的析氢现象.析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能.通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿剂以及采用脉冲电流等四种有效措施.实验证明,以上措施解决了析氢现象对铸层质量的影响,并获得了满意的铸层.
- 肖日松杜立群刘海军褚德南刘冲
- 关键词：微电铸LIGA析氢镍
- 微电铸工艺参数对模具质量影响研究
- 随着MEMS技术的飞速发展,微流控芯片已成为当前生命科学、化学以及微机械等领域的研究热点,利用热压成型法制作高聚合物微流控芯片,因其特有的优点在微流控芯片的制作中得到广泛的应用,其中模具的质量直接影响着微流控芯片的质量与...
- 肖日松
- 关键词：微电铸析氢结合力
- 文献传递
- 微电铸金属模具的制作方法
- 一种微电铸金属模具的制作方法属于微制造技术微电铸金属模具领域，微电铸金属模具的制作方法包括模具基底前处理、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序。采用“无背板生长法”，无背板生长法就是通过紫外线照射光刻掩...
- 杜立群罗怡刘冲娄志峰肖日松薛琳张永彩
- 文献传递
- 微电铸的析氢现象研究
- 本文讨论了微电铸工艺中的析氢现象.析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能.通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加...
- 肖日松杜立群刘海军褚德南刘冲
- 关键词：微电铸LIGA析氢
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究被引量：8
- 2006年
- 针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求。
- 肖日松杜立群刘冲刘海军秦江
- 关键词：MEMSUV-LIGA光刻微电铸湿法刻蚀
