杨文茂
- 作品数：27 被引量：112H指数：5
- 供职机构：中国工程物理研究院更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学生物学更多>>
- 非平衡磁控溅射沉积Ta-N薄膜的结构与电学性能研究被引量：13
- 2006年
- 采用直流反应非平衡磁控溅射技术在单晶Si（100）和玻璃表面沉积氮化钽（Ta-N）薄膜。分别测试了薄膜的结构、成分、电阻率和吸收光谱，研究了氯氩流量比（N2：Ar）变化对Ta—N薄膜的结构和电学性能的影响。研究结果表明随N2：Ar增加，依次生成六方结构的γ-Ta2N、面心立方结构（fcc）的δ-TaNx体心四方结构（bct）的TaNx；N2：Ar在0．2～0．8的范围内，Ta—N薄膜中只存在着fcc δ-TaNx；当N2：Ar〉1之后，Ta—N薄膜中fCC δ-TaN，和bct TaNx共存。Ta—N薄膜电阻率随N2：Ar流量比增加持续增加，当N2：Ar为1．2时，薄膜变为绝缘体，光学禁带宽度为1．51eV。
- 杨文茂张琦陶涛冷永祥黄楠
- 关键词：非平衡磁控溅射反应溅射XRD
- 溅射沉积技术的发展及其现状被引量：67
- 2005年
- 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况。二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射沉积技术进入实质的工业化应用,并通过控制磁控靶磁场的分布方式和增加磁控靶数量,进一步发展为非平衡磁控溅射、多靶闭合式非平衡磁控溅射等,拓宽了应用范围。射频、脉冲电源尤其是脉冲电源在溅射技术中的使用极大地延伸了溅射沉积技术的应用范围。
- 杨文茂刘艳文徐禄祥冷永祥黄楠
- 关键词：溅射沉积磁控溅射非平衡磁控溅射
- 电弧镀TiN薄膜的性能研究
- 采用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面沉积氮化钛(TiN)薄膜,分别测试了薄膜的结构、表面形貌、显微硬度和摩擦磨损性能,研究了电弧离子镀沉积参数,如电弧电流、基体偏压对薄膜性能的影响。研究表明适当增加电弧电流...
- 杨文茂李雪源吴志勇
- 关键词：电弧离子镀TIN薄膜XRD耐磨损
- 文献传递
- 一种钼零件电镀金的方法
- 本发明为一种钼零件电镀金的方法。本发明通过除油、水洗、酸洗、水洗、碱性活化、水洗、闪镀镍、水洗、弱浸蚀、水洗、电镀金、水洗、水煮烘干的工艺程序实现在钼零件上电镀金，其关键在于酸洗后要达到钼零件完全被水润湿的效果，并且一直...
- 吴志勇刘兴宝李雪源梁瑞韩彦彬杨文茂文赛科蒋家东吴定柱汪兴均
- 文献传递
- 钛合金表面非平衡磁控溅射制备氮化钛薄膜性能研究被引量：10
- 2006年
- 本文利用非平衡磁控溅射技术,通过改变薄膜沉积时氮气和氩气分压比(PN/PAr)和靶基距,在Si(100)和钛合金(Ti6A14V)基体上制备了氮化钛薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、HXD^1000显微硬度仪和(CSEM)销盘摩擦磨损实验机对氮化钛薄膜的晶体结构、断面形貌、显微硬度和耐磨性进行了表征。研究发现,利用非平衡磁控溅射制备出致密的氮化钛薄膜,PN/PAr较小时,氮化钛薄膜中存在Ti2N相,Ti2N能够提高薄膜的硬度与耐磨性,随着N2/Ar的提高,薄膜硬度、耐磨性提高,当PN/PAr达到0.1时,随着N2/Ar的提高,薄膜硬度、耐磨性降低。结果表明,在钛合金表面制备氮化钛薄膜可以显著提高钛合金表面硬度与耐磨性,在改善用于人工心脏瓣膜的力学性能,提高人工心脏瓣膜的瓣架耐磨性,提高人工心脏瓣膜的寿命方面有较广阔的应用前景。
- 齐峰王志浩张琦杨文茂冷永祥黄楠
- 关键词：非平衡磁控溅射氮化钛显微硬度耐磨性
- 热扩散处理电弧离子镀铝涂层的结构及其抗氧化性能被引量：2
- 2014年
- 为了提高抗氢钢的抗高温氧化能力,采用电弧离子镀在抗氢钢上沉积Al涂层,通过高温热扩散处理,制备得铝基复合涂层。试验了不同温度对铝基复合涂层性能的影响,采用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)等分别测试了涂层的成分、晶体结构及表面、剖面形貌,通过高温氧化试验测试了涂层的抗高温氧化性能。结果表明:电弧离子镀Al涂层经热扩散处理后,剖面结构为分层分布,表层为Al2O3层,700℃处理后的厚度约0.7μm,为非晶态;950℃处理后的厚度约为2.2μm,为α相。内层为热扩散层,700℃形成成分含量不同的两层热扩散层,由FeNiAl5、FeAl3、Fe4Al13及Ni2Al3等多种富铝相组成;950℃形成热稳定相立方体的FeAl和NiAl相。
- 杨文茂罗郁雯曹银春李雪源刘庆利李昌安
- 关键词：铝涂层抗氢钢热扩散电弧离子镀
- 电弧离子镀铝薄膜的热氧化处理
- 采用电弧离子镀在抗氢钢上沉积Al涂层,通过高温热扩散处理,制备得铝基复合涂层,用于提高抗氢钢的抗高温氧化能力。试验了不同温度对铝基复合涂层的性能影响,分别测试了涂层的成分、结构及表面、剖面形貌。结果表明,电弧离子镀Al涂...
- 杨文茂罗郁雯曹银春刘庆利李雪源李昌安杜文浩
- 关键词：电弧离子镀
- 文献传递
- Ta-O及Ta-N薄膜的制备及其性能研究
- 生物材料与生物体的相互作用仅在表面的几个原子层范围内，生物材料的抗凝血性能与生物材料表面性质，如表面成分、结构、表面形貌、亲(疏)水性、表面能量状态、表面导电性质等表面化学、物理特性相关。因此对生物材料进行表面改性，控制...
- 杨文茂
- 关键词：氧化钽磁控溅射晶体结构抗凝血生物材料
- 文献传递
- 气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响被引量：5
- 2013年
- 利用等离子体浸没离子注入与沉积设备,在7A04铝合金表面制备类金刚石薄膜,使其表面有较高的硬度和良好的耐磨损性能。分别采用拉曼光谱仪、显微硬度计、纳米划痕仪和摩擦磨损试验机对样品的微观结构、显微硬度、膜基结合力和摩擦磨损性能进行测试。研究了气体压强对薄膜微观结构、显微硬度及摩擦磨损性能的影响。结果表明:在气压为0.2Pa下制备的薄膜与基体结合力达到了26mN,具有良好的耐磨损性能;随着气压的升高,薄膜厚度增加,膜基结合力与耐磨损性能下降。
- 苏永要赵黎宁王锦标涂铭旌李雪源杨文茂
- 关键词：类金刚石薄膜铝合金气体压强磨损
- ZAlSi7Mg材料硬质阳极氧化工艺参数影响分析
- 本文研究了硬质阳极氧化溶液浓度、温度、脉冲电源脉冲频率、占空比、脉冲谷峰比、电流密度、时间等工艺参数对ZAlSi7Mg材料硬质氧化膜硬度、膜厚、粗糙度、耐击穿电压等性能的影响,从而优选了适宜的满足设计指标要求的ZAlSi...
- 吴志勇李雷源赵黎宁杨文茂唐作琴曹银春
- 文献传递
