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张卓

作品数：19 被引量：13H指数：2
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：医药卫生文化科学艺术军事更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 6篇学位论文
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇医药卫生
  • 3篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇军事
  • 1篇艺术

主题

  • 9篇封装
  • 8篇微机电系统
  • 8篇机电系统
  • 8篇电系统
  • 7篇真空封装
  • 6篇键合
  • 3篇圆片
  • 3篇媒体
  • 3篇互连
  • 3篇互连结构
  • 3篇键合工艺
  • 2篇电视
  • 2篇圆片级
  • 2篇真空
  • 2篇真空度测量
  • 2篇通孔
  • 2篇腔体
  • 2篇吸气剂
  • 2篇线性度
  • 2篇刻蚀

机构

  • 19篇华中科技大学

作者

  • 19篇张卓
  • 9篇刘胜
  • 9篇汪学方
  • 8篇张鸿海
  • 8篇甘志银
  • 8篇刘川
  • 6篇黎藜
  • 4篇罗小兵
  • 1篇徐春林
  • 1篇胡畅
  • 1篇徐明海
  • 1篇王宇哲

传媒

  • 1篇传媒
  • 1篇新闻知识
  • 1篇青年记者
  • 1篇中国出版

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2018
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 4篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片MEMS器件的位置刻蚀相应空...
汪学方黎藜张卓刘川甘志银张鸿海刘胜
文献传递
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺...
汪学方黎藜张卓刘川甘志银张鸿海刘胜
文献传递
《舌尖上的中国》成功要素再认识
2013年
由中央电视台摄制的7集纪录片《舌尖上的中国》播出以后，其收视率较以往同时段播出的电视剧超出30％，有数据显示第四集的收视率甚至达到了0．55％，几乎赶上了BBC的纪录片收视水平。该片赞誉声一片，
张卓
关键词：再认数据显示纪录片收视率电视剧
微机电系统圆片级真空封装导线互连结构及其制造方法
微机电系统圆片级真空封装互连结构及其制造方法，属于微机电系统的导线互连结构及其制造方法，解决现有互连结构套刻精度要求较高、不能保证腐蚀深度一致性的问题，提高真空度保持性，并实现电信号连通。本发明的互连结构，硅基板上开有通...
汪学方张卓刘川甘志银张鸿海刘胜罗小兵
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MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法
MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法，属于微机电系统的导线互连结构，解决键合过程中气密性问题，实现真空腔内外电信号的连通。本发明互连结构，在硅基板表面依次具有SiO<Sub>2</Sub>绝缘层和多个电极，各电...
汪学方刘川张卓罗小兵甘志银张鸿海刘胜
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我国当代军队形象的塑造与传播
2013年
塑造良好军队形象与国家利益息息相关上个世纪90年代,西方就提出了"国家形象传播"的概念,并认为这是建立国家形象、改变政治议程、维护国家利益的重要途径。一个良好的国家形象,有利于争取世界人民的认同。
张卓
关键词：国际舆论维和任务负面报道舆论传播新媒体传播
具有台阶的硅通孔结构及其制备工艺
本发明公开了一种具有台阶的硅通孔结构，包括半导体衬底和贯穿所述半导体衬底的具有台阶的通孔，所述台阶通孔侧壁依次沉积有绝缘层、粘附层、阻挡层，通孔内填充有金属导体，半导体衬底表面上还依次沉积有由绝缘层、粘附层、阻挡层、导电...
汪学方王宇哲徐明海徐春林胡畅张卓刘胜
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一种微型皮拉尼计
一种微型皮拉尼计，属于微机电系统的真空度测量器件，克服现有微型皮拉尼计体积大、灵敏度不够高的问题。本发明在硅衬底上具有凹槽，凹槽表面架有隔热层，隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极；所述...
汪学方刘川罗小兵黎藜张卓甘志银张鸿海刘胜
文献传递
经蝶假性包膜下垂体腺瘤显微切除术后垂体功能评价
目的：探讨不同临床因素与假性包膜出现率的关系及沿假性包膜切除对术后垂体功能的影响。　　方法：回顾性分析自2013年10月至2015年6月有完整随访记录共156台经鼻蝶垂体瘤显微切除术患者资料，研究其年龄，性别，肿瘤大小，...
张卓
关键词：垂体腺瘤垂体功能
文献传递
基于TSV的MEMS圆片级真空封装关键技术的研究
微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）是将微机械元件、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路等集成于一体的微系统。很多MEMS器件，如陀螺仪、加速度传感器和谐振器等都需...
张卓
关键词：微机电系统真空封装圆片键合
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共2页<12>
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