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孙成亮
作品数:
176
被引量:16
H指数:2
供职机构:
武汉大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
一般工业技术
理学
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合作作者
刘炎
武汉大学
蔡耀
武汉大学
邹杨
武汉大学
周杰
武汉大学
高超
武汉大学
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作者
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刘炎
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高超
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国世上
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1篇
2007
1篇
2005
3篇
2004
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高发射性能的MEMS超声换能器
本发明涉及高发射性能的MEMS超声换能器,通过在超声换能器上设置深槽提高发射声压或者带宽,其中深槽的分布方式包括以下三种:一个或多个深槽贯穿超声换能器压电层、下电极、无源层、SiO<Sub>2</Sub>层,并一直延伸到...
孙成亮
朱伟
吴志鹏
王磊
林炳辉
胡博豪
文献传递
一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法
本发明公开了一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法,压电麦克风包括具有空腔的基底和位于基底上的压电堆叠结构,基底上的空腔为真空的振动空腔,压电堆叠结构依次包括底部电极,压电薄膜和顶部电极,基底包括基底底层,基底中间层和基底顶...
唐楚滢
蔡耀
周杰
邹杨
孙成亮
文献传递
一种压电-挠曲电耦合的薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种压电‑挠曲电耦合的薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述谐振器包括由下至上堆叠设置的衬底、种子层、下电极层、压电层、挠曲电耦合层和上电极层;所述挠曲电耦合层由两种不同的压电材料以相同厚度周期性堆叠而成。本发明...
蔡耀
任玉奇
孙成亮
刘炎
许秉乾
徐沁文
李海洋
黄潇鸣
王融汇
郑宇鹏
一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用
本发明公开了一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用,传感系统包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块;压电基底由下至上包括带有凹槽的衬底和压电层,压电层和衬底形成空腔;叉指电极位于压电基底顶端且...
刘炎
曲远航
孙成亮
刘泽晟
谷曦宇
魏民
陈祥
丁嘉祺
蔡耀
国世上
高灵敏度传感器及其制备方法
本发明提供了一种高灵敏度传感器及其制备方法。本发明提供的高灵敏度传感器,其特征在于,包括:衬底,内部具有密闭的空腔,该空腔内充有惰性气体,且气压小于1atm;和谐振部,形成在衬底上,包括:底电极、压电中间层、和上电极或叉...
刘婕妤
邹杨
高超
周杰
胡博豪
刘炎
孙成亮
利用激光焊接实现无机封装的方法
一种利用激光焊接实现无机封装的方法,涉及芯片封装领域。该利用激光焊接实现无机封装的方法用于利用基板和半球形透镜封装芯片,其包括以下步骤:在半球形透镜的表面形成金层;将半球形透镜放置于基板上,向半球形透镜施加对基板的压力并...
孙成亮
林炳辉
文献传递
基于嵌入型电极的超高频谐振器
公开了一种基于嵌入型电极的超高频谐振器,将电极(101,102)的部分或全部沉积在压电层(103)中,使得在压电层(103)中的电场得到增强并分布更加均匀,使得压电层(103)厚度方向与横向方向的电场产生更强的耦合效应,...
孙成亮
谷曦宇
国世上
刘婕妤
高超
曲远航
谢英
徐沁文
龙开祥
文献传递
基于Helmholtz共振腔并减小空气阻尼的接收超声换能器
基于Helmholtz共振腔并减小空气阻尼的接收超声换能器,包括位于上部的Helmholtz共振腔以及位于下部的MEMS压电超声换能器,Helmholtz共振腔与MEMS压电超声换能器之间通过键合结合;MEMS压电超声换...
孙成亮
吴志鹏
林炳辉
朱伟
王磊
胡博豪
周禹
文献传递
一种用声子晶体结构封装的薄膜体声波谐振器
本发明涉及谐振器技术,具体涉及一种用声子晶体结构封装的薄膜体声波谐振器,包括衬底、依次沉积在衬底上的压电振荡堆结构和封装盖帽结构;压电振荡堆结构包括底电极、压电材料薄膜层及顶电极;封装盖帽结构包括声子晶体层和第一基体。该...
孙成亮
罗天成
刘炎
邹杨
高超
谢英
徐沁文
龙开祥
文献传递
一种频率可调的薄膜体声波谐振器
本发明涉及谐振器技术,具体涉及一种频率可调的薄膜体声波谐振器,自下而上包括衬底、声反射结构、种子层、下电极层、压电薄膜层、上电极层,其中上电极层为条形环绕结构。上电极层的条形环绕结构其宽度、长度、环绕间距、环绕次数均可调...
孙成亮
高超
邹杨
罗天成
谷曦宇
曲远航
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