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吴亚明

作品数：167 被引量：198H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 86篇专利
  • 64篇期刊文章
  • 12篇科技成果
  • 5篇会议论文

领域

  • 51篇电子电信
  • 26篇自动化与计算...
  • 11篇机械工程
  • 9篇电气工程
  • 6篇一般工业技术
  • 5篇理学
  • 3篇文化科学
  • 1篇化学工程

主题

  • 30篇感器
  • 30篇传感
  • 30篇传感器
  • 28篇波导
  • 27篇光纤
  • 25篇MEMS
  • 23篇光学
  • 22篇光栅
  • 18篇微机电系统
  • 18篇机电系统
  • 18篇电系统
  • 17篇光开关
  • 15篇键合
  • 13篇导光
  • 13篇阵列
  • 13篇波导光栅
  • 11篇阵列波导
  • 11篇准直
  • 11篇光纤准直器
  • 10篇电极

机构

  • 164篇中国科学院
  • 17篇中国科学院研...
  • 12篇浙江大学
  • 10篇中国科学院大...
  • 3篇中科院上海微...
  • 1篇华中科技大学
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇南昌理工学院
  • 1篇飞索半导体
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇上海联能科技...
  • 1篇中船重工远舟...

作者

  • 167篇吴亚明
  • 44篇李四华
  • 42篇徐静
  • 22篇王跃林
  • 21篇刘玉菲
  • 19篇钟少龙
  • 15篇赵本刚
  • 13篇杨建义
  • 11篇高翔
  • 11篇屈红昌
  • 10篇李绍良
  • 9篇唐衍哲
  • 7篇郝寅雷
  • 7篇穆参军
  • 7篇杨艺榕
  • 7篇刘文平
  • 7篇黄占喜
  • 7篇龙亮
  • 6篇李明
  • 6篇王文辉

传媒

  • 9篇光电子．激光
  • 6篇光学学报
  • 5篇Journa...
  • 5篇功能材料与器...
  • 5篇传感器与微系...
  • 4篇光学精密工程
  • 3篇传感技术学报
  • 2篇红外与激光工...
  • 2篇机械强度
  • 2篇中国激光
  • 2篇光电子技术
  • 2篇半导体光电
  • 2篇电子元件与材...
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇光电子技术与...
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光纤与电缆及...
  • 1篇中国电机工程...
  • 1篇科技开发动态
  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2025
  • 8篇2024
  • 9篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 6篇2015
  • 7篇2014
  • 8篇2013
  • 10篇2012
  • 14篇2011
  • 3篇2010
  • 12篇2009
  • 6篇2008
  • 10篇2007
  • 20篇2006
  • 13篇2005
  • 14篇2004
  • 15篇2003
  • 5篇2002
共 167 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种波导和光纤的耦合方法
本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架...
吴亚明李四华
文献传递
MEMS三轴加速度计及其制造方法
本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定...
吴亚明杨丹琼徐静钟少龙
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微机械电磁阻尼结构分析
2007年
提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。
赵军徐静吴亚明
关键词：微机械电磁阻尼
一种微型CPT原子钟碱金属蒸汽腔的充气和封堵系统及方法
本发明涉及一种微型CPT原子钟碱金属蒸汽腔的充气和封堵方法及其系统，主要包括缓冲气体储气瓶、碱金属蒸汽储气瓶、真空室、MEMS圆片承载台、真空泵和激光封堵装置等部分。碱金属蒸汽腔MEMS圆片制作方法为在硅片上利用干法刻蚀...
吴亚明李绍良徐静
文献传递
MEMS三轴加速度传感器及其制造方法
本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与...
吴亚明杨丹琼徐静钟少龙
文献传递
一种波导和光纤的耦合方法
本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架...
吴亚明李四华
文献传递
一种MEMS芯片的封装方法及封装结构
本发明一种MEMS芯片的封装方法及封装结构，该封装方法包括以下步骤：在MEMS晶圆上键合临时封装盖板，其中MEMS晶圆上包括多个间隔排列的MEMS芯片，临时封装盖板底面设有多个间隔排列的封环微结构使得每一MEMS芯片的上...
吴亚明夏彧虎凌必赟王潇悦周碧青
新型MEMS光学电流传感器的设计被引量：3
2006年
提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测量光信号；温度变化±50K时相应的测试误差为0．2％；器件在大电流下的灵敏度优于0．02dB／A。
赵本刚刘玉菲徐静高翔吴亚明
关键词：微电子机械系统光学电流传感器滤波温度补偿
基于金属粉末填充的互连结构制造方法
本发明提供一种基于金属粉末填充的互连结构制造方法，包括步骤：提供基底，所述基底中形成有用于制造互连结构的空腔；于空腔中填充金属粉末；将金属粉末固化成导电柱而形成互连结构。采用本发明，可以极大降低TSV通孔填充的难度、缩短...
凌必赟夏彧虎吴亚明蔡敏力王潇悦
一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关
本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关。其特征在于：(1)光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成；(2)双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的...
吴亚明黄占喜
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