郭群超
- 作品数：22 被引量：64H指数：6
- 供职机构：南开大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信理学化学工程更多>>
- 高压13.56MHz PECVD法沉积器件质量级本征微晶硅材料(英文)
- 2005年
- 本文国内首次报道了采用高压RF-PECVD技术沉积本征微晶硅材料的结果。实验表明,增大等离子体激发功率和减小硅烷浓度都能够使薄膜材料由非晶硅逐渐向微晶硅转变,而结构上的改变使得电学特性也随之改变。通过工艺参数的优化和纯化器的使用,有效地控制了氧的掺杂,在较高的生长速度下得到了器件质量级的本征微晶硅材料。将实验得到的微晶硅作为太阳电池光吸收层,在没有ZnO背电极和没有优化窗口层材料以及p/i界面时,电池的效率达到5.22%,这进一步表明本征微晶硅材料的良好性能。
- 侯国付郭群超王岩薛俊明任慧志宋建张晓丹赵颖耿新华李以钢
- 关键词：微晶硅太阳电池
- 高速沉积高效微晶硅太阳电池的研究
- 微晶硅太阳电池是硅基薄膜太阳电池的新一代技术。如何提高微晶硅太阳电池的沉积速率是降低其制造成本的关键技术。本文研究了提高微晶硅薄膜沉积速率的方法,并研究了在高速沉积条件下影响微晶硅薄膜质量、进而影响电池性能的关键因素,提...
- 耿新华侯国付张晓丹韩晓艳郭群超高艳涛薛俊明魏长春孙建陈新亮张德坤赵颖
- 文献传递
- 新型高电导宽带隙太阳能电池窗口材料的研究
- P型窗口层是影响非晶硅(a-Si)和微晶硅(μc-Si)薄膜太阳电池整体性能的重要因素之一.本论文采用七室连续RF-PECVD系统,用常规掺杂剂乙硼烷制备了非晶和微晶两种窗口材料,以新型掺杂剂三甲基硼制备了非晶硅窗口材料...
- 郭群超
- 关键词：太阳电池硅薄膜掺杂
- 文献传递
- 催化蒸馏塔中催化剂装填技术研究进展被引量：3
- 2003年
- 介绍了催化蒸馏塔中催化剂的装填结构 ,即催化剂装在板式蒸馏塔降液管中、装在板式塔塔板上、与散装填料相结合及与规整填料相结合 。
- 刘国标王树楹郭群超
- 关键词：催化蒸馏塔催化剂塔板填料
- 射频高压耗尽PECVD技术制备高效率硅薄膜电池的研究
- 本文综合报道了南开大学采用高压耗尽RF-PECVD制备高效率微晶硅电池时几个关键问题的研究结果,主要包括器件质量级本征微晶硅材料工艺窗口的确定及其结构和光电性能表征;孵化层的形成机理以及减小孵化层的有效方法;梯度氢稀释法...
- 侯国付薛俊明袁育杰任慧志张德坤孙建郭群超陈新亮赵颖耿新华
- 文献传递
- 掺杂对硅薄膜窗口材料生长的影响被引量：6
- 2004年
- 研究了掺杂剂对 p型微晶硅窗口材料生长的影响 .实验发现 ,与 B(CH3) 3不同 ,B2 H6 作为微晶硅掺杂剂时 ,掺硼量对材料的晶化率和生长速率有重要影响 .在线等离子体发射光谱分析表明 :B2 H6 的掺入会使辉光光谱中Si H*等各种离子密度增强 ,而 B(CH3) 3作掺杂剂时 ,随 B(CH3) 3量的增加 ,Si H*峰值增加较少 ,而 H2 *和
- 郭群超耿新华张建新刘国标
- 关键词：掺杂
- 并流喷射式填料塔板在催化精馏中的应用被引量：2
- 2003年
- 介绍了并流喷射式填料塔板(JCPT 塔板)的结构和特点以及在催化精馏中的应用状况,进行了干气与苯制备乙苯的模拟试验,试验结果为乙烯转化率95％以上,乙苯选择性95％以上。试验证明这种催化精馏塔催化剂装填量大、寿命长、装卸方便,塔板压降小,反应转化率高、效率高。
- 刘国标蓝仁水郭群超王树楹
- 关键词：催化精馏塔板填料
- 新型高电导宽带隙太阳能电池宣窗口材料的研究
- P型窗口层是影响非晶硅(a-Si)和微晶硅(μc-Si)薄膜太阳电池整体性能的重要因素之一。本论文采用七室连续RF—PECVD系统，用常规掺杂剂乙硼烷制备了非晶和微晶两种窗口材料，以新型掺杂剂三甲基硼制备了非晶硅窗口材料...
- 郭群超
- 关键词：太阳电池硅薄膜掺杂
- 文献传递
- 硅薄膜P型掺杂特性的研究
- 本文研究了硅薄膜不同P型掺杂剂对材料特性的影响,实验发现,BH作为掺杂剂时,掺硼量对材料的生长速率和微结构有重要影响。随掺硼量增加,材料的生长速率加快、晶化率下降。当采用B(CH)作掺杂剂时,掺硼量对材料的生长速率和晶化...
- 郭群超耿新华张建新张德坤孙建任慧志吴春亚
- 关键词：硅薄膜
- 文献传递
- Shower电极对硅薄膜材料生长的影响
- 在制备硅薄膜材料的PECVD系统中,分别采用普通平行板电极和shower电极,于相同的工艺条件下考察了电极结构对硅薄膜材料均匀性、光电性能以及微结构的影响。研究发现采用shower电极使薄膜（400-500nm）均匀性明...
- 郭群超侯国付孙建耿新华任慧志薛俊明韩建超
- 关键词：硅薄膜均匀性
