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腾晓云

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：河北大学更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇射电
  • 2篇射电源
  • 2篇氢化
  • 2篇溅射
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇反应溅射
  • 2篇反应气体
  • 2篇磁控

机构

  • 2篇河北大学

作者

  • 2篇孟令海
  • 2篇腾晓云
  • 2篇傅广生
  • 2篇卢海江
  • 2篇王春生
  • 2篇于威

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法
本发明公开了一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法，首先将清洗好的衬底放置到对靶磁控溅射装置的基片台上，然后对对靶磁控溅射装置的反应室抽真空，并用氩等离子体清对靶磁控溅射装置的基片台和反应室器壁，再加热基片台，向反应室...
于威傅广生孟令海腾晓云王春生卢海江
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一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法
本发明公开了一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法，首先将清洗好的衬底放置到对靶磁控溅射装置的基片台上，然后对对靶磁控溅射装置的反应室抽真空，并用氩等离子体清对靶磁控溅射装置的基片台和反应室器壁，再加热基片台，向反应室...
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