朱昊
- 作品数：7 被引量：23H指数：3
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金教育部跨世纪优秀人才培养计划江苏省高校高新技术产业发展项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 热电薄膜型微传感器的优化设计被引量：4
- 2004年
- 详细分析了一维热电薄膜型微传感器的优化设计模型 ,探讨了热阻、灵敏度和探测率与传感器几何尺寸之间的关系。分析的时候考虑到热电堆的热端与敏感面的距离 m对传感器性能的影响。经过分析得出 :当 m(热电堆到热敏感面距离 )为定值时 ,灵敏度 S随梁长 l增大而增大 ,探测率 D*随着 l的增大先增大后减小 ;当 l为定值时 ,S和 D* 均随 m增大而减小。用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据。
- 张昭勇秦明黄庆安朱昊
- 关键词：优化设计灵敏度探测率
- 集成风速计片上系统的计算机模拟
- 将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点,本文从风速计的工作场入手,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟,从而直接模拟出信号状...
- 朱昊秦明黄庆安
- 关键词：微机电系统风速计片上系统计算机模拟数据拟合等效电路
- 文献传递
- 集成风速计片上系统的计算机模拟
- 2003年
- 将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点 ,本文从风速计的工作场入手 ,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟 ,从而直接模拟出信号状况 ,有利于片上处理电路和控制电路的匹配设计 ,提高了设计效率。文中给出了风速计流体场的有限元分析结果 ,并通过拟合的方法将输出的温度差输出到电路等效的热堆 ,信号和噪声经过片上集成的放大器输出到芯片外 ,有利于温度场、热敏感元件。
- 朱昊秦明黄庆安
- 关键词：CMOS电路MEMS器件风速计片上系统计算机模拟
- 热薄膜温差型CMOS风速风向传感器的研究和实现被引量：9
- 2004年
- 介绍了一种基于 CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ,利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ,给出了具体结构和工艺 ,最后对样品进行了风洞测试 ,传感器能够测量风速 0～ 2 3 m/ s且 3
- 程海洋秦明高冬晖朱昊
- 关键词：CMOSCTD
- 一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试被引量：3
- 2006年
- 给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因此不存在速度量程问题；同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向，风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试，风速的测量可以达到23m／s，风速分辨率达到0．5m／s，风速的最大误差为0．5m／s。传感器的反应时间为3～5秒，整个功率损耗约为50mW。
- 高冬晖秦明程海洋朱昊
- 关键词：风向传感器互补金属氧化物半导体工艺
- 热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析被引量：3
- 2003年
- 本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场 .并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响 .将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合 .利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 。
- 张昭勇秦明黄庆安朱昊
- 关键词：有限元分析热模拟计算流体动力学气体流量传感器
- 集成硅热流量传感器被引量：4
- 2003年
- 将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点 ,因而收到了广泛的重视。本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况 ,并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨 ,对该类传感器的设计有一定的参考价值。
- 朱昊秦明黄庆安
- 关键词：电路集成硅热流量传感器CMOS电路芯片集成电路敏感元件
