曾昭君
- 作品数：3 被引量：20H指数：2
- 供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 一种抗大过载微型加速度计研究被引量：6
- 2003年
- 讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件进行模态分析 ,找出结构上应变最大的位置 ,并对结构尺寸进行优化 ;提供一种可能的电路版图说明 ,并对加速度计的灵敏性进行理论分析 ;
- 曾昭君石进杰
- 关键词：微型加速度计MEMSANSYS
- 一种抗大过载微型加速度计研究
- 讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对...
- 曾昭君石进杰
- 关键词：加速度计微机电系统十字梁电路版图
- 文献传递
- 用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力被引量：14
- 2003年
- 采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片。为了研究芯片的抗过载能力 ,使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷 ,以一维应力波理论估计芯片受到的加速度。结果显示 ,芯片破坏的临界载荷为 2 0 0kgn。裂纹和断裂主要发生在十字架中心、边框的 4个角以及十字梁和边框的连接部位。
- 郇勇张泰华杨业敏曾昭君
- 关键词：HOPKINSON杆冲击加载微加速度计
