您的位置： 专家智库 > >

曹金名

作品数：1 被引量：46H指数：1
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇军事
  • 1篇军事领域
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 1篇曹金名
  • 1篇刘光辉
  • 1篇亢春梅

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用被引量：46
2002年
概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
亢春梅曹金名刘光辉
关键词：MEMS技术军事领域微电子机械系统电子器件
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0