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陈彦均

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 5篇调制
  • 5篇时空调制
  • 4篇数值孔径
  • 4篇共焦
  • 4篇光强
  • 3篇双重驱动
  • 3篇截止频率
  • 3篇工件台
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻机
  • 3篇光刻系统
  • 3篇超分辨
  • 3篇传感
  • 3篇传感装置
  • 2篇声光
  • 2篇声光调制
  • 2篇光调制
  • 2篇测量方法
  • 1篇微位移
  • 1篇物空间

机构

  • 8篇哈尔滨工业大...

作者

  • 8篇陈彦均
  • 4篇谭久彬
  • 4篇王宝凯
  • 4篇邹丽敏
  • 3篇王雷
  • 3篇赵勃

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种用于光刻机双工件台的二维微位移测量方法及传感装置
一种用于光刻机双工件台的二维微位移测量方法及传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过呈90°相位关系的两个霍尔微位移传感器测量二...
王雷赵勃陈彦均
文献传递
一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法
一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的...
邹丽敏王宝凯陈彦均谭久彬
文献传递
一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法
一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信...
邹丽敏王宝凯陈彦均谭久彬
文献传递
一种用于光刻机双工件台的三维微位移测量方法及传感装置
一种用于光刻机双工件台的三维微位移测量方法及其传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过相互呈90°相位关系的三个霍尔微位移传感器...
王雷赵勃陈彦均
文献传递
一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法
一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的...
邹丽敏王宝凯陈彦均谭久彬
文献传递
一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法
一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信...
邹丽敏王宝凯陈彦均谭久彬
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光栅时空调制式共焦显微系统超分辨特性研究
由于独特的轴向光学层析能力，共焦显微镜自问世以来，已被广泛应用于工业、生物及医学成像等各个领域。但是，受衍射效应限制，其横向分辨力始终无法突破波长级别，而轴向分辨力已达纳米量级，横向和轴向分辨力的严重不平衡，严重制约了共...
陈彦均
关键词：光栅时空调制
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一种用于光刻机双工件台的微位移测量方法及传感装置
一种用于光刻机双工件台的微位移测量方法及传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工技术，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，外部检测电路处理并综合霍尔传感器的输出信号完成测量；...
王雷赵勃陈彦均
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