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邢嶶

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电子束
  • 2篇电子束加工
  • 2篇天文
  • 2篇天文观测
  • 2篇位相
  • 2篇位相差
  • 2篇位相型
  • 2篇纳米光刻
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀深度
  • 2篇光刻

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇杨勇
  • 2篇邢嶶
  • 2篇徐锋
  • 2篇赵立新
  • 2篇严伟
  • 2篇胡松
  • 2篇蒋文波

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种位相型光子筛
位相型光子筛，是由传统菲涅尔波带片结构改进而成。它是由随机分布在菲涅尔波带片透光和不透光环带上的小孔组成，其中透光环带上的小孔和不透光环带上的小孔之间有π位相差，位相差由精确控制各环带的刻蚀深度来实现。位相型光子筛的制作...
蒋文波胡松赵立新徐锋邢嶶杨勇严伟
一种位相型光子筛
位相型光子筛，是由传统菲涅尔波带片结构改进而成。它是由随机分布在菲涅尔波带片透光和不透光环带上的小孔组成，其中透光环带上的小孔和不透光环带上的小孔之间有π位相差，位相差由精确控制各环带的刻蚀深度来实现。位相型光子筛的制作...
蒋文波胡松赵立新徐锋邢嶶杨勇严伟
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