2025年1月15日
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赵嘉昊
作品数:
69
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H指数:3
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清华大学
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尤政
清华大学机械工程学院精密测试技...
朱静
清华大学
周惠华
清华大学
区定容
清华大学
阮勇
清华大学
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赵嘉昊
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尤政
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2004
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基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器
本发明公开了属于角度测量的惯性传感器技术领域的一种基于重力梯度测量的面内式MEMS隧穿姿态敏感器。该面内式MEMS隧穿姿态敏感器由敏感模块、斧形针尖、可动电极模块组成;其中,敏感模块由柔性梁和质量块组成;可动电极模块由连...
赵嘉昊
曹亚陆
含有无序纳米复合薄膜的光存储介质及其应用
含有无序纳米复合薄膜的光存储介质及其应用,属于光存储器技术领域,其特征在于它含有:第一间隔层;第二间隔层;夹于第一间隔层和第二间隔层之间的无序纳米复合薄膜结构层,它含有以下组分:透光能力较好的绝缘体或宽能隙半导体;金属、...
区定容
朱静
王佳
朱若剑
赵嘉昊
周惠华
文献传递
振动传感器及其制备方法
本申请涉及一种振动传感器及其制备方法。上述振动传感器,包括基座和与所述基座的一端键合连接的悬臂梁结构以及压电结构。所述悬臂梁结构远离所述键合连接处的一端为振动部。所述压电结构包括依次重叠设置的第一电极层、压电层、种子层以...
尤政
阮勇
赵嘉昊
宋志强
文献传递
一种具有可控磁各向异性的磁性颗粒薄膜及其制备方法
一种具有可控磁各向异性的磁性颗粒薄膜及其制备方法,涉及一种在高频通讯芯片中用于集成电感器件的纳米颗粒型磁性薄膜及其制备工艺。本发明使用非连续多层膜交替磁控溅射法,得到玻莫合金-SiO<Sub>2</Sub>磁性纳米颗粒薄...
赵嘉昊
朱静
区定容
周惠华
文献传递
基于微系统技术的声源定位设备、方法、装置及系统
本申请涉及一种基于微系统技术的声源定位设备、方法、装置及系统。所述设备包括声音微传感器,微处理器,射频收发器,微系统封装体,微系统封装体用于为声音微传感器、微处理器和射频收发器提供机械连接和电气连接,其中:声音微传感器用...
尤政
熊诚凇
鲁文帅
尤睿
赵嘉昊
赵晓光
阮勇
一种微机械静电驱动的梳齿结构
本发明公开了属于微机械静电驱动技术领域的一种微机械静电驱动的梳齿结构。所述梳齿的形状采用三角形与梯形结合的方式,或是三角形与矩形结合的方式,或是梯形之间互相结合的方式。所述微机械静电驱动的梳齿结构是两片梳齿对插,直接与器...
高永丰
尤政
赵嘉昊
文献传递
一种抗粘附RF MEMS开关
本发明公开了一种抗粘附RF MEMS开关,包括共面波导、锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极、第二抗粘附电极,所述锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极均设置在所述共...
赵嘉昊
李沐华
尤政
应用于RF MEMS开关的新型减振合金薄膜材料中孪晶行为的研究
射频(Radio Frequency,RF)微机电系统(Micro-Electro Mechanical Systems)RF MEMS领域中,RF MEMS开关是最重要的研究方向之一.相比于传统的半导体开关,RF ME...
赵嘉昊
一种硅基太赫兹开关
本发明公开了一种硅基太赫兹开关,包括硅结构、第一电极、超材料结构、绝缘层、衬底和第二电极;所述硅结构包括由外向内依次相连的固支结构、支撑梁和硅板;所述第一电极设置在所述固支结构的上表面上;所述超材料结构设置在所述硅板的下...
赵嘉昊
赵晓光
孙振词
基于温度开关的温度自唤醒方法及自唤醒电子装置
本发明公开了属于物联网技术应用的一种基于温度开关的温度自唤醒方法及自唤醒电子装置。该装置由电源模块、自唤醒模块与被唤醒模块组成,其中自唤醒模块分别通过导线以串联方式与电源模块、被唤醒模块连接,构成自唤醒电子装置的整个系统...
尤政
赵嘉昊
杨登
王晓峰
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