谢承科
- 作品数：28 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术生物学更多>>
- 上转换磷光生物检测仪
- 一种上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接口、液晶显示模块、矩阵键盘、射频识别模块、数字...
- 谢承科张友宝周蕾屈建峰黄立华郭小娴黄惠杰杨瑞馥
- 文献传递
- 上转换发光免疫层析分析仪及检测方法
- 一种上转换发光免疫层析分析仪及检测方法，该分析仪包括光学系统、恒温系统、控制系统、试纸条和试纸条托架，本发明分析仪具有灵敏度高和稳定性好的特点，能快速、准确地进行生物免疫反应检测。
- 凌丽青郭凯黄立华谢承科何国俊廖小情屈建峰黄惠杰
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- 光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法
- 一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、...
- 谢承科陈明杨宝喜黄惠杰
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- 四分之一波片快轴方位实时测量装置
- 一种四分之一波片快轴方位实时测量装置，该装置由准直光源、起偏器、标准四分之一波片、衍射分束元件、聚焦透镜、检偏器阵列、光电探测器阵列、放大电路和信号处理系统组成。测量方法是准直光源出射的平行光束经过起偏器、标准四分之一波...
- 曾爱军杨坤郭小娴谢承科黄惠杰王向朝
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- 上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法
- 一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法，上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接...
- 谢承科张友宝周蕾屈建峰黄立华郭小娴黄惠杰杨瑞馥
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- 光学系统定心定位装置及其使用方法
- 一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行...
- 肖艳芬杨宝喜谢承科胡中华曾爱军陈明朱菁黄惠杰
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- 一种光刻机照明控制测试系统及方法
- 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...
- 张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰
- 双通道实时生物气溶胶监测方法与装置
- 一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置，其特点在于该方法包括下列步骤：①大气气溶胶粒子富集；②双通道紫外光诱导荧光检测；③数据处理；④对粒子富集板进行表面清洁与再生；⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、...
- 黄惠杰周光超赵永凯冯春霞韩杰黄立华谢承科孙征宇张友宝
- 高精度深紫外光学透射率测量装置的研制被引量：1
- 2016年
- 为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来的误差。搭建了深紫外光学透射率测量装置,对1片可计算透射率的光学样品进行透射率测量,其测量结果与透射率理论计算结果基本一致。测量结果显示,该装置的测量重复性可达到0.3%。通过分光光度计对该光学样品进行测量,通过结果对比,该装置的测量结果与分光光度计的测量结果相差0.28%。另外,该装置应用灵活,可以测量光学系统的透射率,具有不受待测光学样品尺寸影响的优点。
- 陈明谢承科杨宝喜黄惠杰
- 关键词：物理光学深紫外
- 一种光刻机照明控制测试系统及方法
- 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...
- 张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰
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