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文献类型

  • 6篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 4篇等离子
  • 4篇大气压
  • 3篇等离子体弧
  • 3篇阻挡放电
  • 3篇介质
  • 3篇介质阻挡
  • 3篇介质阻挡放电
  • 2篇等离子弧
  • 2篇石墨
  • 2篇石墨烯
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
  • 2篇SIOX
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体制备
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇数对
  • 1篇光学

机构

  • 7篇北京印刷学院

作者

  • 7篇董良旭
  • 6篇陈强
  • 3篇周振
  • 2篇张跃飞
  • 2篇刘福平
  • 1篇张春梅

传媒

  • 2篇第7届全国表...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 5篇2008
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
在大气压下用冷等离子弧聚合SiOx薄膜研究
在大气压下,以六甲基二硅氧烷为单体,四氟化碳为辅助气体,用冷等离子弧制备SiOx薄膜。通过傅立叶外(FTIR)定性分析,比较了冷等离子弧离样品高度、单体输入量、聚合时间等对聚合膜的影响。并与等离子体枪进行DBD放电聚合进...
周振董良旭陈强
关键词:SIOX薄膜大气压
文献传递
大气压等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究
在大气压下,以甲烷为反应单体,氩气为工作气体,利用介质阻挡放电(DBD)等离子枪可沉积类金刚石薄膜DLC)。但基体温度,气体配比,沉积时间,工作电压,其流通入方式以及枪口与基体的距离对沉积类金刚石的特性都有影响。实验中以...
董良旭张跃飞陈强
关键词:介质阻挡放电类金刚石
文献传递
等离子化学气相沉积生长石墨烯的研究
<正>利用DBD介质阻挡放电等离子化学气相沉积技术,以电子束蒸镀有镍的单晶硅为基材,采用CH_4为碳源,H_2作为刻蚀气体,在温度650℃下合成了石墨烯。实验研究了不同生长时间,气体配比以及镍层厚度对生长石墨烯的影响。采...
董良旭张春梅陈强刘福平
关键词:石墨烯介质阻挡放电
文献传递
不同工艺参数对冷等离子枪聚合SiO2薄膜的结构影响
在大气压下,以六甲基二硅氧烷为单体,四氟化碳为辅助气体,用冷等离子弧制备 SiO 薄膜。过傅立埃红外光谱(FTIR)对薄膜进行了结构分析研究:通过原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌。比较了冷等离子弧制备薄膜的工艺...
周振董良旭陈强刘福平
关键词:SIO2薄膜大气压
文献传递
DBD等离子体制备石墨烯薄膜结构和性能研究
石墨烯是近年发现的二维碳原子晶体,由于其独特的电学性能和力学性能,引起了广泛的关注,被认为在电子工业领域具有巨大的应用潜力。但目前常规技术进行大面积、高质量石墨烯的制备困难是限制石墨烯发展的瓶颈。 本文尝试采用DBD等离...
董良旭
关键词:石墨烯光学性能电学特性
文献传递
大气压等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究
在大气压下,以甲烷为反应单体,氩气为工作气体,利用介质阻挡放电(DBD)等离子枪可沉积类金刚石薄膜(DLC)。但基体温度,气体配比,沉积时间,工作电压,其流通入方式以及枪口与基体的距离对沉积类金刚石的特性都有影响。实验中...
董良旭张跃飞陈强
关键词:介质阻挡放电类金刚石大气压
文献传递
在大气压下用冷等离子弧聚合SiOx薄膜研究
在大气压下,以六甲基二硅氧烷为单体,四氟化碳为辅助气体,用冷等离子弧制备SiOx薄膜。通过傅立叶外(FTIR)定性分析,比较了冷等离子弧离样品高度、单体输入量、聚合时间等对聚合膜的影响。并与等离子体枪进行DBD放电聚合进...
周振董良旭陈强
关键词:大气压
文献传递
共1页<1>
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