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祝斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：常州大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇激光
  • 1篇激光光斑
  • 1篇光斑
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇ALN
  • 1篇表面抛光
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇常州大学

作者

  • 1篇祝斌
  • 1篇李鑫伟
  • 1篇宋仁国
  • 1篇王超

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种高取向AlN薄膜的制备方法
本发明公开了一种高取向AlN薄膜的制备方法，包括两个步骤：先对Si(100)基片进行表面抛光处理后再进行清洗，然后在Si(100)基片的衬底上沉积AlN薄膜。具体为：打开电源开关，输入激光器所需参数，安装靶材，然后将衬底...
宋仁国李鑫伟祝斌王超
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