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潘建旋
作品数:
51
被引量:25
H指数:4
供职机构:
天津津航技术物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周志远
天津津航技术物理研究所
刘舒扬
天津津航技术物理研究所
陈维友
吉林大学电子科学与工程学院集成...
贾翠萍
吉林大学电子科学与工程学院集成...
董玮
吉林大学电子科学与工程学院集成...
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基于神经网络的多光谱人脸活体检测方法及系统
本发明提供了一种基于神经网络的多光谱人脸活体检测方法及系统,包括:获取真人和仿真头模多光谱图像;对多光谱图像进行维度转换;光谱特征提取;对提取的光谱特征进行数据矫正;对矫正后的数据进行类别标定;获取n组光谱特征数据及n组...
李绰
王天鹤
周志远
张晨
赵安娜
潘建旋
李硕祉
张云昊
刘鑫
赵帅
姜洪妍
王才喜
InGaAs短波红外探测器
与 InP 衬底晶格常数相匹配的 InGaAs 材料能够制作出高质量的光电探测器,可工作在室温或热电制冷条件下,光响应谱范围为0.92~1.7μm,具有高达80%以上的量子效率。通过对 InGaAs 探测器芯片平面和平台...
潘建旋
以善珍
周航宇
关键词:
短波红外
INGAAS
探测器
室温
文献传递
MOEMS阵列光开关的研制
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下电极阵列利用偏一定角度的(111)硅片制作。
陈维友
董玮12
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
孙东明
徐宝琨
王立军
关键词:
光开关
硅片
反射镜
光纤阵列
文献传递
网络资源链接
光谱成像芯片结构
本发明提供了一种光谱成像芯片结构,该光谱成像芯片结构包括像素感光单元、窄带滤光膜、过渡层和截止滤波膜,像素感光单元用于实现图像采集和数据读出,窄带滤光膜一体式沉积生长在像素感光单元上,窄带滤光膜用于实现在所需波段中心波长...
姜洪妍
刘舒扬
王天鹤
张晨
赵安娜
张云昊
周志远
潘建旋
王才喜
倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关及其制作方法
本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中,微反射镜的镜面和上电极相垂直,扭臂、微反射镜和上电极为一体结构,在同一硅片...
董玮
陈维友
刘彩霞
张歆东
孙东明
贾翠萍
潘建旋
徐宝琨
文献传递
用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具
本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具,该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括:本体,本体位于单光仪光路内,本体具有通光孔;待测样品放置台,待测样品放置台位于本体的第一侧上,具有FP腔的ME...
张云昊
刘舒扬
张晨
王天鹤
赵安娜
周志远
潘建旋
姜洪妍
王才喜
文献传递
光谱成像芯片结构
本发明提供了一种光谱成像芯片结构,该光谱成像芯片结构包括像素感光单元、窄带滤光膜、截止滤波膜和第一匹配层,像素感光单元用于实现图像采集和数据读出,第一匹配层一体式沉积生长在像素感光单元上,窄带滤光膜一体式沉积生长在第一匹...
姜洪妍
刘舒扬
王天鹤
张晨
赵安娜
张云昊
周志远
潘建旋
王才喜
InGaAs线列红外探测器研究
与InP衬底晶格常数相匹配的InGaAs材料能够制作出高质量、可在室温条件下工作的光电探测器。利用设计的256线列InGaAs探测器芯片和COMS集成读出电路芯片,研制出短波红外探测器组件,探测器组件光响应谱段范围为0....
潘建旋
杨栋
赵毅强
李献杰
关键词:
短波红外
INGAAS
探测器组件
文献传递
一种线扫式光谱成像系统及其成像方法
本发明提供了一种线扫式光谱成像系统及其成像方法,该线扫式光谱成像系统包括至少一个光谱成像芯片结构,光谱成像芯片结构包括像素感光单元、第一匹配层和窄带滤光膜,像素感光单元用于实现图像采集和数据读出,第一匹配层一体式沉积生长...
张云昊
刘舒扬
张晨
赵安娜
王天鹤
周志远
潘建旋
姜洪妍
王才喜
(100)硅片的各向异性腐蚀及微反射镜的制作
2002年
在(100)硅片上进行各向异性腐蚀时,能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{110}面和倾角54°的{111}面,{111}面是沿着<100>方向形成的,{100}和{110}面是沿着<100>方向形成的。用纯KOH水溶液和KOH+IPA(异丙醇)混合水溶液在(100)硅片上沿<100>方向腐蚀所暴露的平面是不同的,使用纯KOH水溶液总是能暴露与衬底垂直的{100}面,在使用KOH+IPA混合溶液时,当KOH的浓度较低的,暴露与裤底倾角是45℃的{110}面,当KOH溶度高于50%时,暴露出光滑且与衬底垂直的{100}面。根据这一结论,使用KOH浓度高于50%的KOH+IPA混合水溶液,在(100)硅片上沿着<100>方向制作出微反射镜,微镜的表面粗糙度低于100nm。
纪平
潘建旋
徐宝琨
董玮
陈维友
刘彩霞
张歆东
贾翠萍
张龙
关键词:
各向异性腐蚀
微反射镜
表面粗糙度
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