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李云

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：西安邮电大学理学院更多>>
发文基金：陕西省教育厅科研计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇透射
  • 2篇透射率
  • 2篇金刚石
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇溅射
  • 2篇刚石
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射

机构

  • 2篇西安邮电大学

作者

  • 2篇李云
  • 1篇徐建刚

传媒

  • 1篇科学技术与工...
  • 1篇西安邮电大学...

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金刚石薄膜的制备及透射率研究
2012年
用磁控溅射法制备金刚石薄膜,研究了工作气压、溅射电流、镀膜时间三个参数对金刚石薄膜透射率的影响。得到最佳工艺参数:工作气压1.3Pa,溅射电流0.4A,镀膜时间2min。镀制的金刚石薄膜可以作为红外元件的保护膜与增透膜。
李云
关键词：磁控溅射金刚石薄膜透射率
镀制工艺对金刚石薄膜透射率的影响被引量：1
2012年
用磁控溅射法制备金刚石薄膜,研究了工作气压,溅射电流、镀膜时间三个参数对金刚石薄膜透射率的影响。得到最佳工艺参数:工作气压1.3 Pa,溅射电流0.4 A,镀膜时间2 min。镀制的金刚石薄膜可以作为红外元件的保护膜与增透膜。
李云徐建刚
关键词：磁控溅射金刚石薄膜透射率
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