朱正恺
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 基于光纤光栅新型微位移测量方法研究被引量：1
- 2013年
- 微纳米超精密测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,用于微纳米测量领域具有广阔前景。首先对光纤布拉格光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上,采用布拉格光纤光栅熔制悬挂式探针测头作为传感元件,利用匹配法进行波长解调,然后设计一整套系统,以实现微位移量测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行标定,并利用广义多项式对测量数据进行拟合。实验结果显示:系统分辨率达到10 nm,曲线拟合优度为0.999 6。
- 朱正恺刘芳芳朱肃然费业泰
- 关键词：布拉格光纤光栅传感器
- 基于布拉格光纤光栅的微位移传感器的研究被引量：4
- 2013年
- 微位移测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,已被用于微位移测量领域。本文首先对布拉格光纤光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上设计制作了一种光纤光栅位移传感器。采用布拉格光纤光栅作为传感元件,利用自解调法进行波长解调,然后设计一整套传感系统,对微位移量进行了传感测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行测试,实验结果显示传感系统分辨率达到50nm,系统回零重复性的误差26nm,系统的灵敏度为21mV/μm,最大非线性引用误差为2.45%。
- 朱肃然夏豪杰刘芳芳朱正恺费业泰
- 关键词：布拉格光纤光栅微位移测量
