朱小进
- 作品数:4 被引量:11H指数:2
- 供职机构:南昌航空工业学院测试技术与控制工程系更多>>
- 发文基金:江西省自然科学基金中国航空科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 彩色等效灰度掩模制作方法研究
- 2005年
- 提出了一种利用彩色等效灰度理论设计掩模的新方法———数据库法.通过选取不同RGB值组合成特定颜色,由彩色胶片输出仪输出这些颜色组成的彩色掩模,获得的彩色胶片掩模用来线性调制曝光量,从而实现二元光学元件台阶深度的线性化.给出了理论计算和16阶菲涅耳透镜的实验结果,证明了数据库方法设计掩模的可行性.该方法的提出为灰度扩展提供了新途径.
- 罗宁宁高益庆谌廷政漆新民朱小进陈劲松
- 关键词:衍射光学
- 衍射光学元件灰度掩模板激光制作系统研究被引量:1
- 2004年
- 根据灰度掩模的制作理论,提出了由PP8000胶片输出仪、远心成像透镜组、平行准直He-Cd激光器构成的精缩投影曝光灰度掩模制作系统.通过灰度掩模平面不同位置处提供可变的透过率,经一次光刻后得到所需的衍射光学元件.该系统不仅可采用黑白胶片制作高分辨率灰度掩模板,还可根据彩色灰度等效理论,利用彩色等效胶片实现256灰度级的扩展细分,以进一步提高灰度掩模板制作的分辨率.对于16台阶灰度掩模,其分辨率可以从0~255扩展到0~1280灰度级.利用该系统给出了二元光栅精缩后的感光图片.
- 漆新民谌廷政朱小进高益庆罗宁宁王铮
- 关键词:衍射光学元件灰度掩模
- 红外双色点测温的修正方法被引量:2
- 2002年
- 简要介绍一种微处理器控制的红外点测温方法及系统结构 ,重点阐述双色测温Tc比色温度的修正方法 ,用计算机给出了一组多项式和指数方程的发射率仿真修正数据 。
- 周鞠宁漆新民袁丽华高益庆朱小进
- 关键词:红外温度检测
- 电寻址空间光调制器制作灰度掩模技术的研究被引量:8
- 2004年
- 介绍了制作微光学元件灰度掩模的两种方案,它们分别使用TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)和DMD(数字微镜器件)两种电寻址空间光调制器,采用并行直写和实时掩模技术,提高了灰度掩模制作的速度和灵活性。刷新率的变化和黑栅衍射效应将导致衍射效率下降,使得曝光深度误差增加。前者可延长曝光时间来消除,后者可通过高填充因子和放大滤波电路予以有效抑制。与LCD掩模相比,用DMD掩模制作的闪耀光栅的衍射效率提高了10%以上。
- 谌廷政吕海宝漆新民高益庆朱小进
- 关键词:灰度掩模空间光调制器衍射效率微光学元件