徐德辉
- 作品数：98 被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种热电能量采集器及其制作方法
- 本发明提供一种热电能量采集器及其制作方法，该方法包括以下步骤：S1：制作第一器件片；S2：制作第二器件片；S3：将所述第一器件片与第二器件片键合，使各个第一、第二热电偶臂通过第一电连接块与第二电连接块相互交替依次相连，其...
- 徐德辉 吴利青熊斌王文杰
- 亚微米间隙微结构的制作方法及其制作的微机械谐振器
- 本发明涉及亚微米间隙微结构的制作方法及其制作的微机械谐振器，其特征在于亚微米间隙不是通过光刻定义，而是通过氧化多晶硅薄膜来制作，亚微米间隙的大小由多晶硅薄膜上的间隙和氧化工艺在多晶硅薄膜上生长的氧化硅厚度共同决定，并且直...
- 熊斌徐德辉吴国强王跃林
- 自对准制作微结构的方法及其制作的红外热电堆探测器
- 本发明涉及一种自对准制作微结构的方法及其制作的微机械热电堆红外探测器，特征在于利用多晶硅条的自对准刻蚀下面的介质层形成热电堆，使用各向同性的干法刻蚀腐蚀硅衬底释放结构。热电堆可成悬臂梁直接悬空于衬底上。工艺步骤包括复合介...
- 熊斌杨恒昭徐德辉王跃林
- 基于微机械加工工艺的声子晶体器件被引量：2
- 2019年
- 声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。
- 郑忱煜徐德辉熊斌
- 关键词：声子晶体微机电系统禁带
- 扭转式微机械磁场传感器及其制备方法
- 本发明提供一种扭转式微机械磁场传感器及其制备方法，所述扭转式微机械磁场传感器包括：谐振结构组件；所述谐振结构组件包括：谐振结构、第一绝缘层、感应线圈及驱动电极；所述第一绝缘层位于所述谐振结构表面；所述感应线圈位于所述第一...
- 熊斌刘松 梁亨茂徐德辉
- 双成像系统
- 本发明提供一种双成像系统，包括：镜头组件、半反半透镜、可见光图像传感器及红外图像传感器；其中，镜头组件用于采集待成像物的入射光线；半反半透镜位于镜头组件远离入射方向的一端，用于将镜头组件采集的入射光线进行反射和透射，以将...
- 熊斌郑忱煜李宝清徐德辉
- 基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备被引量：1
- 2016年
- 基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。
- 吴利青徐德辉熊斌
- 关键词：MEMS温差发电有限元分析数学建模
- 一种三维真空传感器及其制备方法
- 本发明提供一种三维真空传感器及其制备方法，该方法制备的热电堆和加热器位于不同的平面上，热电堆位于加热器的下面，可以进一步实现热电型真空传感器的微型化；采用干法腐蚀释放结构，可以避免湿法腐蚀释放过程中存在的结构层与衬底黏连...
- 熊斌孙晓徐德辉王跃林
- 共面键合结构及其制备方法
- 本发明提供一种共面键合结构及其制备方法，所述制备方法包括步骤：a)提供一待键合的器件结构，所述器件结构包括至少两个定义的功能区，其中，各所述功能区均具有待引出面，且至少两个所述待引出面位于不同高度的平面；b)将各所述待引...
- 熊斌 梁亨茂刘松徐德辉
- 微机械谐振器
- 本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检...
- 熊斌吴国强徐德辉王跃林
