张秀
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：高功率半导体激光国家重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- AlN薄膜的热应力模拟计算被引量：1
- 2011年
- 本文通过ANSYS有限元分析软件对薄膜的热应力进行了模拟计算,并通过理论计算验证了其合理性。模拟出了薄膜应力值及分布情况,分析了薄膜沉积温度与薄膜厚度对薄膜度应力的影响。从模拟的结果可以看出,薄膜上表面X方向应力主要集中在薄膜中心,边缘应力较小,但边缘的形变较大;薄膜的热应力随着薄膜沉积温度的升高而增大,随着膜厚的增加而减小。
- 邹微微王玉霞徐扬张秀
- 关键词：热应力ALN薄膜有限元
- 一种双靶射频磁控共溅射超硬、高效导热、低吸收Al<Sub>x</Sub>Si<Sub>y</Sub>N膜的方法
- 本发明之一种双靶射频磁控共溅射超硬、高效导热、低吸收Al<Sub>x</Sub>Si<Sub>y</Sub>N膜的方法属于薄膜技术领域。该领域已知同类薄膜不足之处是硬度低、导热差、光吸收大等缺点，限制了相关领域中的应用。...
- 乔忠良薄报学高欣张斯玉徐扬张秀曲轶芦鹏李辉李占国刘国军
- 高功率脊形半导体激光器模式特性研究
- 在半导体激光器的诸多应用中，都希望其基横模工作。在一定功率输出条件下，如何实现半导体激光器稳定的单模工作，仍然是半导体激光器设计和制作的一个主要课题。 本论文首先综述了高功率半导体激光器的发展历程，综合分析了其模式特性...
- 张秀
- 关键词：MATLAB仿真
- 文献传递
- 一种双靶射频磁控共溅射超硬、高效导热、低吸收Al<Sub>x</Sub>Si<Sub>y</Sub>N膜的方法
- 本发明之一种双靶射频磁控共溅射超硬、高效导热、低吸收Al<Sub>x</Sub>Si<Sub>y</Sub>N膜的方法属于薄膜技术领域。该领域已知同类薄膜不足之处是硬度低、导热差、光吸收大等缺点，限制了相关领域中的应用。...
- 乔忠良薄报学高欣张斯玉徐扬张秀曲轶芦鹏李辉李占国刘国军
- 文献传递
- 脊波导半导体激光器模式特性研究与设计被引量：1
- 2011年
- 利用有效折射率法求解了脊形光波导半导体激光器的模式场分布,采用数值计算得到有效折射率随波导厚度变化关系。通过对这种波导模式的分析,进行了单模脊波导的设计,提出了一种新器件结构。并运用Matlab进行模式模拟,分析结果表明器件有很好的模式特性。
- 张秀薄报学高欣乔忠良邹微微
- 关键词：有效折射率MATLAB
