邢振宁
- 作品数:3 被引量:3H指数:1
- 供职机构:山东建筑大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:山东省科技发展计划项目山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域:化学工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 半导体硅上金纳米活化化学镀镍
- 半导体硅表面化学镀镍可使其具有良好的机械性能外,还具有一定的电性能和磁性能。本文用正交试验法确定了化学镀镍的最佳工艺,研究了各因素对沉积速度的影响。在最佳工艺条件下能得到外观质量好的镀层。由于金纳米粒子具有较高的活性,我...
- 邢振宁
- 关键词:金纳米粒子化学镀镍半导体硅
- 硅基体表面无钯活化化学镀镍工艺被引量:3
- 2011年
- 硅材化学镀镍的活化是为了获取金属原子沉积中心,但现有的活化工艺存在种种不足。金纳米粒子具有小尺寸效应、表面与界面效应,呈现出良好的催化活性。采用金纳米粒子对硅基体进行活化后化学镀镍,并采用浸泡腐蚀试验,SEM及EDS测试将其与传统的钯活化法对比,研究了活化后的沉积速度及镀层形貌、结构、耐腐蚀性能,结果表明:金纳米粒子活化法可提高沉积速度,所制备的镀层具有优良的耐蚀性,且更加致密均匀。
- 马洪芳王艺涵邢振宁马芳丁严广
- 关键词:化学镀镍金纳米粒子
- 硅基体表面无钯活化化学镀镍工艺
- 硅材化学镀镍的活化是为了获取金属原子沉积中心,但现有的活化工艺存在种种不足。金纳米粒子具有小尺寸效应、表面与界面效应,呈现出良好的催化活性。采用金纳米粒子对硅基体进行活化后化学镀镍,并采用浸泡腐蚀试验,SEM及EDS测试...
- 马洪芳王艺涵邢振宁马芳丁严广
- 关键词:化学镀镍金纳米粒子
- 文献传递