邓晓
- 作品数：49 被引量：27H指数：4
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术理学更多>>
- 一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪
- 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块，所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接，所...
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- 一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法
- 本发明涉及一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法，该方法具体为：掩膜版基板的设计和加工，掩膜版基板上开有四个窗口(3)，四个相同大小的窗口(3)在掩膜版基板中间区域呈十字形对称分布；掩膜版的制造，采用激光汇聚原...
- 程鑫彬邓晓唐朝辉肖光旭尹志珺李同保
- 一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法
- 本发明涉及一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法，包括自溯源光栅干涉仪(1)、XY纳米位移台(2)、XY粗调台(3)、原子力测头(4)和基座(5)，基座(5)上设有XY粗调台(3)和龙门架(6)，XY纳米位移台(2...
- 邓晓
- 一种用于加速度振动传感器的校准方法
- 本发明涉及一种用于加速度振动传感器的校准方法，方法采用一种用于加速度振动传感器的校准装置，方法包括以下步骤：S1、将待校准振动传感器以待校准轴与激振方向平行的姿态固定于水平滑台上；S2、采用信号采集与传输设备，对自溯源光...
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- 一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统
- 本发明涉及一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统，包括相干光源、光电探测模块、自溯源光栅和信号处理模块，所述自溯源光栅设置于待测的位移运动平台上，所述相干光源、光电探测模块和信号处理模块依次连接，所述相干光源产生的激光经光...
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- 一种基于拼接原子光刻技术的大面积自溯源光栅制备方法
- 本发明涉及一种基于拼接原子光刻技术的大面积自溯源光栅制备方法，包括以下步骤：基于原子光刻技术在基板上进行一次原子光刻，获得原子光刻光栅样板；至少循环执行一次以下操作：利用光阑的限位作用，保持会聚光指向不变，将主透镜及当前...
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- 一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统
- 本发明公开了一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，属于微纳结构技术领域，包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束...
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- 一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法
- 本发明涉及一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法，该方法具体为：掩膜版基板的设计和加工，掩膜版基板上开有四个窗口(3)，四个相同大小的窗口(3)在掩膜版基板中间区域呈十字形对称分布；掩膜版的制造，采用激光汇聚原...
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- 拼接原子光刻光栅衍射性能研究
- 2025年
- 光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运用于光栅干涉仪的研制,使得测量结果可直接溯源,保障了测量结果的准确性和一致性。然而单次原子光刻制备的光栅面积较小,限制了干涉仪的测量量程。尽管采用拼接原子光刻技术可实现原子光刻光栅面积的延拓,且理论上不引入周期误差,但是拼接区域光栅峰谷高度存在不均匀性,将会影响光栅的衍射效率。文中基于严格耦合波分析理论对拼接原子光刻光栅的衍射特性进行了仿真分析,当光栅峰谷高度从30~85 nm改变时,TE偏振入射光对应衍射效率从0.3%升高至1.9%,TM偏振入射光对应衍射效率随着峰谷高度变化逐步升高,最大值可达36.8%。同步进行了光栅衍射性能的实验测试,结果表明实验测试结果与仿真理论结果的变化趋势一致。该研究为基于拼接原子光刻光栅的直接溯源型光栅干涉仪测量量程扩展提供了技术指导。
- 吴益泽薛栋柏肖光旭沈俊宇邓晓孔明
- 关键词：衍射效率严格耦合波理论
- 基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法
- 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级...
- 程鑫彬顾振杰邓晓谢张宁
